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一种窄线宽准分子激光器，由棱镜扩束系统、紫外光栅、紫外标准具、放电腔及耦合输出镜组成。准分子激光先经棱镜扩束系统和紫外光栅进行线宽压窄，输出的窄线宽激光经过谐振腔外垂直光路放置的紫外标准具，对其光谱进一步压窄。本发明涉及的窄线宽准分子激光器...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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