触控装置的制作方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种触控装置的制作方法，其包括提供具第一透明导电层的基板，图案化第一透明导电层形成下部触控感测层，再于基板上形成第一保护层与第一光致抗蚀剂层，利用一光掩模图案化第一光致抗蚀剂层使其具有第一开口并具有不同的厚度，移除厚度较小的部分以形成第二开口，然后图案化暴露出的第一保护层而形成开孔与接触洞。移除第一光致抗蚀剂层后，依序形成第二透明导电层与第二光致抗蚀剂层，利用同一光掩模以图案化第二光致抗蚀剂层，使第二光致抗蚀剂层具有对应于第一保护层开孔的第三开口，暴露出第二透明导电层，接着移除被暴露的第二透明导电层，形成上部触控感测层。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种触控显示装置的制作方法，尤其是涉及一种以较少光掩模数量制作触控感测元件的触控显示装置的制作方法。
技术介绍
由于触控装置具有人机互动的特性，已被广泛应用于仪器的外埠输入界面上。近年来，随着消费性电子产品的应用面发展越来越广，将触控功能与显示器结合而形成触控显示装置的应用产品也越来越多，包括移动电话(mobile phone)、卫星导航系统(GPSnavigator system)、平板电脑、个人数字助理(personal digital assistant, PDA)以及笔记型电脑等。一般而言，触控装置中的触控面板依照其感测方式的不同而可区分为电阻式触控面板、电容式触控面板、光学式触控面板、声波式触控面板以及电磁式触控面板。由于电容式触控面板具有反应时间快、可靠度佳以及耐用度高等优点，因此，电容式触控面板已被广泛地使用于电子产品中。依照结构及制造方式的不同，电容式触控面板又可区分为外贴式(out-cell)、外挂式(on-cell)及内建式(in-cell)三种。外贴式的电容式触控面板通常是将感测串列先制作于一透明基板上，再将此已制作有感测串列的透明基板贴附于显示面板的外表面上。外挂式触控面板是直接将触控感测元件制作于显示面板的外侧。内建式触控面板是将触控感测元件制作于显示面板的上基板或下基板的内表面，并通过连接导线将触控感测元件电连接至外部。触控面板中的触控感测元件多由多层图案化的薄膜所构成，在形成各层图案化薄膜时，皆需要使用具特定薄膜图案的光掩模以图案化薄膜，然而，随着元件设计越精密，光掩模成本也越加提高，因此，如何通过改良制作工艺以降低制造成本仍为触控装置相关产业的重要课题之一。
技术实现思路
本专利技术目的之一在于提供一种，相比较于传统制作工艺，本专利技术提供的方法可使用较少的光掩模数量便制作出具有良好感测效能的触控装置。为达上述目的，本专利技术公开一种，包括下列步骤首先提供表面具有第一透明导电层的基板，接着图案化第一透明导电层，以使第一透明导电层形成下部触控感测层，再依序于下部触控感测层上形成第一保护层与第一光致抗蚀剂层，然后利用一光掩模以图案化第一光致抗蚀剂层，使第一光致抗蚀剂层具有至少一第一开口暴露出第一保护层，并使第一光致抗蚀剂层具有第一厚度与第二厚度，其中第二厚度小于第一厚度。接着，移除具有第二厚度的部分第一光致抗蚀剂层，以于第一光致抗蚀剂层中形成多个第二开口，暴露出第一保护层，接着图案化第一保护层，移除被第一光致抗蚀剂层所暴露出的部分第一保护层，以于第一保护层中形成至少一开孔与多个接触洞，之后移除第一光致抗蚀剂层。然后，依序于第一保护层上形成第二透明导电层与第二光致抗蚀剂层，然后利用同一光掩模以图案化第二光致抗蚀剂层，使第二光致抗蚀剂层具有至少一第三开口对应于 第一保护层的开孔并暴露出第二透明导电层，再图案化第二透明导电层，移除被第二光致 抗蚀剂层所暴露出的部分第二透明导电层，以使第二透明导电层形成上部触控感测层，最 后再移除第二光致抗蚀剂层。由于本专利技术是利用同一光掩模来分别图案化第一光致抗蚀剂层与第二光致抗蚀 剂层，并通过图案化的第一光致抗蚀剂层与第二光致抗蚀剂层当作掩模而进一步图案化第 一保护层与第二透明导电层，以形成所需的感光元件图案，因此可以减少光掩模数量，进而 节省昂贵的光掩模成本与整体制作工艺成本。附图说明图1为本专利技术触控装置的第一实施例的上视示意图；图2为本专利技术触控装置的第一实施例的剖面示意图；图3至图13为本专利技术触控装置制作方法的第一实施例的制作工艺示意图，其中图 3、图5至图8以及图10至图12为剖面示意图，而图4、图9及图13为俯视图；图14为本专利技术触控装置制作方法的第二实施例的剖面示意图；图15为本专利技术触控装置制作方法的第二实施例的触控感测元件的俯视示意图；图16为本专利技术触控装置制作方法的第三实施例的触控感测元件的俯视示意图。主要元件符号说明100 触控显示器101 触控装置102 第一基板102a 第一基板内表面102b 触控区102c 框胶区102d 连接区102e 第一基板外表面104 第二基板106 显示介质层108 触控感测元件110 导线112 第一上部感测串列 112a 第一上部触控感测垫114 第二上部感测串列 114a 第二上部触控感测垫114b 第二上部连接线116 连接垫118 第一透明导电层118’ 下部触控感测层120 第一下部感测串列 120a 第一下部触控感测垫120b 第一下部连接线 122 第二下部感测串列122a 第二下部触控感测垫124 第一保护层124a 垂直连接部分126 框胶128 第一光致抗蚀剂层 128a 第一开口128b 接触洞预定图案 128b’第二开口130 光掩模130a 全透光区130b 半透光区130c 不透光区132 开孔134 接触洞136 第二透明导电层136’ 上部触控感测层138 第二光致抗蚀剂层 140 第三开口142 开孔144 第二保护层H1 第一光致抗蚀剂层的第一厚度H2 第二光致抗蚀剂层的第二厚度具体实施例方式为使熟悉本专利技术所属
的一般技术者能更进一步了解本专利技术，下文特列举本专利技术的实施例，并配合所附附图，详细说明本专利技术的构成内容及所欲达成的功效。请参考图1与图2，图1为本专利技术触控装置的第一实施例的上视示意图，而图2为本专利技术触控装置的第一实施例的剖面示意图。本实施例中，本专利技术触控装置101设于一触控显不器100中，触控显不器100包括第一基板102、第二基板104、显不介质层106、框胶126以及包括触控感测元件108的触控装置101 (在图2中仅以一层结构示意)。第一基板102与第二基板104相对设置，且第二基板104面对第一基板102的内表面102a。第一基板102具有触控区102b、围绕触控区102b的框胶区102c以及连接区102d。触控区102b作为让使用者触控的区域，框胶区102c设置了用来结合第一基板102与第二基板104的框胶126，且连接区102d用于将触控感测元件108电连接至设置于第二基板104上的周边电路(未示于图1与图2)，例如利用导线110将触控感测元件108的感测信号传递至连接区102d内，再经由连接垫116以将信号传送至第二基板104上。本实施例中，连接区102d设置在框胶区102c内，但不限于此。本专利技术的触控装置也可选择性地将连接区设置在触控区与框胶区之间或设置在框胶区的外侧。或者，触控装置的触控感测元件可直接从第一基板电连接至外界，而不需另外设置连接区。显示介质层106设置于触控区102b的第一基板102与第二基板104之间，让使用者可根据显示介质层106所显示的画面而于触控区102b内执行触控功能。触控感测元件108设置于触控区102b的第一基板102的内表面102a上，并位于触控区102b内，用来感测使用者触控的位置。由此可知，本实施例的触控装置101为一内建式触控装置，但不限于此。在其他实施例中，本专利技术触控装置101也可为一外挂式触控装置，例如其触控感测元件108制作于第一基板102的外表面102e上，或者，触控装置101还可为一外贴式触控装置，其触控感测元件108另外制作一基板上，再贴附于第一基板102的外表面102e上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种触控装置的制作方法，包括：提供一基板，该基板表面具有一第一透明导电层；图案化该第一透明导电层，以使该第一透明导电层形成一下部触控感测层；依序于该下部触控感测层上形成一第一保护层与一第一光致抗蚀剂层；利用一光掩模以图案化该第一光致抗蚀剂层，使该第一光致抗蚀剂层具有至少一第一开口暴露出该第一保护层，并使该第一光致抗蚀剂层具有一第一厚度与一第二厚度，其中该第二厚度小于该第一厚度；移除具有该第二厚度的部分该第一光致抗蚀剂层，以于该第一光致抗蚀剂层中形成多个第二开口，暴露出该第一保护层；图案化该第一保护层，移除被该第一光致抗蚀剂层所暴露出的部分该第一保护层，以于该第一保护层中形成至少一开孔与多个接触洞；移除该第一光致抗蚀剂层；依序于该第一保护层上形成一第二透明导电层与一第二光致抗蚀剂层；利用该光掩模以图案化该第二光致抗蚀剂层，使该第二光致抗蚀剂层具有至少一第三开口对应于该第一保护层的该开孔并暴露出该第二透明导电层；图案化该第二透明导电层，移除被该第二光致抗蚀剂层所暴露出的部分该第二透明导电层，以使该第二透明导电层形成一上部触控感测层；以及移除该第二光致抗蚀剂层。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：陈建宇，叶家骏，庄文奇，陈逸祺，
申请(专利权)人：友达光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：