【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种蓝宝石晶体生长炉的结构设计,尤其是一种观察窗。
技术介绍
目前国内蓝宝石晶体生长炉多数使用俄罗斯技术,在引晶时操作者需使用观察窗对引晶的情况进行判断,这种炉型使用了水冷的不锈钢管套做观察孔,在需要观察时,把观 察窗的挡片打开,不需要时关闭挡片,保持观察窗晶片的清洁。但是仍然会有挥发物挥发到观察窗晶片上,在5-10h之内,观察窗就会被挥发物遮挡,从而看不清楚炉内的晶体生长情况,对于初学者来说,非常不利,同时,频繁的打开和关闭观察窗,旋转观察窗挡片的机构密封圈会磨损,在极端情况下会造成真空泄露,并且,观察窗挡片上也会有挥发物沉积,频繁的操作观察窗挡片,其上面沉积的挥发物会掉入坩埚中,使得晶体的生长受到影响。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种水气复合冷却蓝宝石晶体生长炉观察窗,解决观察窗易污染导致晶体生长受到影响的问题。为解决上述技术问题,本专利技术的技术方案为一种水气复合冷却蓝宝石晶体生长炉观察窗,包括观察窗镜片,法兰盘,密封圈,观察窗通水管道,观察窗通气管道,进气口,观察窗保护挡片和观察窗挡片旋动装置,其特征在于,所述观察窗使用水 ...
【技术保护点】
一种水气复合冷却蓝宝石晶体生长炉观察窗,包括观察窗镜片,法兰盘,密封圈,观察窗通水管道,观察窗通气管道,进气口,观察窗保护挡片和观察窗挡片旋动装置,其特征在于,所述观察窗使用水气复合冷却。
【技术特征摘要】
1.一种水气复合冷却蓝宝石晶体生长炉观察窗,包括观察窗镜片,法兰盘,密封圈,观察窗通水管道,观察窗通气管道,进气口,观察窗保护挡片和观察窗挡片旋动装置,其特征在于,所述观察窗使用水气复合冷却。2.根据权利I所述一种水气复合冷却蓝宝石晶体生长炉观察窗,其特征在于,所述观察窗镜片使用石英镜片、蓝宝石镜片和普通耐温玻璃镜片三种镜片中的任意一种。3.根据权利I所述一种水气复合冷却蓝宝石晶体生长炉观察窗,其特征在于,所述观察窗通水管道使用双层不锈钢和碳钢两种材料中的任意一种,中间通水,管道焊接于上炉盖上。4.根据权利I所述一种水气复合冷却蓝宝石晶体生长炉观察窗,其特征在于,其特征在于,所述观察窗通气管道焊接于通水管道上,使用单层不锈钢和碳钢两种材料中的任意一种,外壁有气体接入口,内壁有氩气出口...
【专利技术属性】
技术研发人员:滑喜宝,
申请(专利权)人:苏州工业园区杰士通真空技术有限公司,
类型:发明
国别省市:
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