【技术实现步骤摘要】
本技术涉及机电一体化蓝宝石单炉长晶设备
,尤其涉及蓝宝石设备中真空系统防爆装置。技术背景 蓝宝石单晶炉是新型LED基底材料,蓝宝石长晶高端设备,蓝宝石长晶是在真空环境中获得,在真空通道中,由于生产环境各种因素的改变,有时会产生压力过高,对生产很不利,所以我们采用一个特殊的防爆装置来解决处理好这个问题。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种蓝宝石设备中真空系统防爆装置,保护真空系统的安全。蓝宝石设备中真空系统防爆装置,在真空系统的主管路的管件盘的上面一周加工有一道2毫米深的环形槽,环形槽的宽度是以管件盘面上宽度留出2. 5毫米的边壁上设置有一道环沟,环沟的截面为R4的半圆形;这样在管件盘上的环形槽与环沟之间形成了一薄壁,还设有钩型螺钉勾住薄壁处,并与通道的另一个零件相连。采用本技术方案的有益效果是真空系统在压力过高时,其压力能及时得到释放,从而保护了真空系统的安全,并且结构简单、易于制造、使用方便,能用于各型号的蓝宝石单晶炉真空系统中,应用范围广。附图说明图I为蓝宝石设备中真空系统防爆装置结构剖面示意图。图2为图IA处局部放大图。图中1-管件壁、2-管件盘、2. I-环槽、2. 2-半圆形环沟。具体实施方式以下结合附图对本技术作具体的说明真空系统主管路中设有管件壁I和管件盘2,防爆装置是在管件盘2上面加工一道深度2毫米的环形槽2. I,环形槽的宽度是以管件盘面上宽度留出2. 5毫米的边壁后的宽度加工;同时还在管件盘2的外侧环壁上加工一道环沟2. 2,环沟的截面是R4的半圆形,这样另外再采用钩型螺钉勾住薄壁处,钩型螺钉与通道的另一个零件相连,这样当生产环境 ...
【技术保护点】
蓝宝石设备中真空系统防爆装置,其特征在于:在真空系统的主管路的管件盘(2)的上面一周设置有一道2毫米深的环形槽(2.1),环形槽的宽度是以管件盘(2)面上宽度留出2.5毫米的边壁上加工了一道环沟(2.2),环沟的截面为R4的半圆形;这样在管件盘上的环形槽(2.1)与环沟(2.2)之间形成了一薄壁,还设有钩型螺钉勾住薄壁处,并与通道的另一个零件相连。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:方启彬,马剑钧,康宁,
申请(专利权)人:贵州建新南海科技股份有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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