【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种蓝宝石衬底专用清洗篮，广泛应用于蓝宝石衬底加工过程中的各个超声波清洗环节。
技术介绍
蓝宝石衬底具有制备工艺成熟，价格低、易清洗和处理，高温下有很好的稳定性。随着生长工艺的不断改进，蓝宝石衬底上生长的GaN外延膜晶体质量有了很大提高，目前已能在蓝宝石上外延出高质量的GaN材料，并已研制出GaN基蓝色发光二极管及激光二极管。在六方GaN的外延生长中，蓝宝石是使用最普遍的一种衬底材料。由于在衬底晶片生产中，几乎每道工序都有清洗问题，所以蓝宝石晶片清洗的好坏对LED的发光性能有严重的影响，处理不当，可能使全部蓝宝石晶片报废，做不出LED管 子来，或者制造出来的LED性能低劣、稳定性和可靠性很差。因此弄清楚蓝宝石晶片清洗的方法和原理，不管是对从事蓝宝石晶片加工还是LED生产的人来说都具有十分重要的工程意义。研磨过程中宝石片是粘在加工盘上的，会形成凹槽，现有技术手工清洗工艺用刷子很难将凹槽中的微粉洗净，造成死角，容易把上道工序中使用的较粗金刚石微粉带到下道工序中，造成研磨、抛光时出现异常的粗深痕迹，导致返工，影响加工质量。
技术实现思路
本技术针对上述现有技术的不足，提供了一种蓝宝石衬底专用清洗篮，容量大，易清洗，耐腐蚀，适合规模化生产的需要。本技术的具体技术方案是一种蓝宝石衬底专用清洗篮，其特征在于该清洗篮包括有侧板、上挡杆、下档杆和齿型杆，所述侧板设有两块，所述上挡杆、下档杆和齿型杆的两端分别与两块侧板连接；所述齿型杆、上挡杆和下挡杆上都设有容纳蓝宝石衬底片的齿槽。所述齿型杆、上档杆上的齿槽水平正对设置；下档杆上的齿槽垂直向上设置。所述侧板与上挡杆、...
【技术保护点】
一种蓝宝石衬底专用清洗篮，其特征在于该清洗篮包括有两块侧板、一个上挡杆、一个下档杆和一个齿型杆，所述上挡杆、下档杆和齿型杆的两端分别与两块侧板连接；所述齿型杆、上挡杆和下挡杆上都设有容纳蓝宝石衬底片的齿槽。
【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石衬底专用清洗篮，其特征在于该清洗篮包括有两块侧板、一个上挡杆、一个下档杆和一个齿型杆，所述上挡杆、下档杆和齿型杆的两端分别与两块侧板连接；所述齿型杆、上挡杆和下挡杆上都设有容纳蓝宝石衬底片的齿槽。2.根据权利要求I所述的蓝宝石衬底专用清洗篮，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐洁，袁得运，吴云才，陈益军，
申请(专利权)人：浙江上城科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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