用于高温应用的衬里材料或反射材料制造技术

本发明专利技术涉及衬里材料或反射材料及其制备方法，所述材料特别用于在腐蚀性气氛中的高温应用。该材料包括红外线反射层，在该红外线反射层上沉积有氮化物层作为屏障层。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于高温应用的衬里材料或反射材料及其制备方法。特别地，本专利技术涉及用于高温应用的暴露于化学侵蚀性气氛的衬里材料。
技术介绍
在复合半导体基础上的薄层太阳能电池或者说模块的制备在其核心工艺、吸收层制备中通常与在含硒和/或含硫气氛下的400至800°C的温度关联。这类设施的加热通常借助陶瓷加热元件进行。特别地，在这些加热元件的区域内，设施的温度特别高，从而使得在此处可能强化地出现加热元件本身的或与加热元件相邻的衬里的腐蚀性侵蚀。在实践中通常使用不锈钢或陶瓷作为衬里材料。已经表明，这些材料在腐蚀性侵蚀和高温的共同作用下必须定期进行更换，并且因此被视作耗材。因此，不仅由于需要更换衬里材料导致高成本，而且基于衬里材料的腐蚀性侵袭和伴随与此的分解可出现已制备的半导体构造元件的、例如太阳能电池的吸收层的污染。
技术实现思路
相对于此，本专利技术的任务在于提供减少现有技术的所述缺点的衬里材料或反射材料。特别地，本专利技术的任务是提供一种本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.06.21 DE 102010024495.31.用于高温应用、特别是用于炉的衬里材料或反射材料，所述衬
里材料或反射材料包括玻璃陶瓷基底，所述玻璃陶瓷基底具有红外线
反射层，其中，在所述红外线反射层上布置有屏障层作为防氧化保护
和防腐蚀性化学侵蚀保护，其中，所述红外线反射层与所述屏障层在
800和2000nm之间的波长范围内的反射率之比平均大于2。
2.根据权利要求1所述的衬里材料或反射材料，其特征在于，所
述屏障层包括氮化物，特别是基本上由氮化物制成。
3.根据权利要求2所述的衬里材料或反射材料，其特征在于，所
述屏障层包括氮化硅、氮氧化硅、氮化铝、氮化钛铝和/或氮化锆。
4.根据前述权利要求任一项所述的衬里材料或反射材料，其特征
在于，所述红外线反射层包括氮化钛，特别是由氮化钛制成。
5.根据前述权利要求任一项所述的衬里材料或反射材料，其特征
在于，所述红外线反射层具有在20和500nm之间、优选在50和200nm
之间的厚度。
6.根据前述权利要求任一项所述的衬里材料或反射材料，其特征
在于，所述屏障层具有在5和500nm之间、优选20和100nm...

【专利技术属性】
技术研发人员：克里斯蒂安·亨，伊夫琳·鲁迪吉尔沃伊特，罗兰德·勒鲁，法尔克·加贝尔，
申请(专利权)人：肖特公开股份有限公司，
类型：
国别省市：