有机发光显示装置及其制造方法制造方法及图纸

一种有机发光显示装置，包括：位于衬底上的栅电极、源电极、以及漏电极；连接至所述栅电极的栅极互连线；连接至所述源电极和所述漏电极的源极漏极互连线；电连接至所述源极漏极互连线的第一测试焊盘；以及电连接至所述栅极互连线的第二测试焊盘。所述第二测试焊盘与所述第一测试焊盘位于相同水平高度处，所述栅电极位于与所述源电极和所述漏电极不同的层上。

【技术实现步骤摘要】
有机发光显示装置及其制造方法相关申请的交叉引用本申请要求于2011年8月26日向韩国知识产权局提交的第10-2011-0085816号韩国专利申请的权益，其全部公开内容通过引用并入本文。
技术介绍
有机发光显示装置可包括例如薄膜晶体管（TFT）以及可由TFT驱动并可产生图像的有机电致发光装置（EL装置）。TFT可包括例如堆叠在衬底上的栅电极、有源层、源电极和漏电极。有机EL装置可包括例如像素电极、面对像素电极设置的相对电极、以及位于像素电极与相对电极之间的发光层。
技术实现思路
实施方式可通过提供一种有机发光显示装置来实现，该有机发光显示装置包括形成于衬底上的不同层上的栅电极以及源电极和漏电极、分别连接至栅电极以及源电极和漏电极的栅极互连线和源极漏极互连线、电连接至源极漏极互连线的第一测试焊盘、以及可与第一测试焊盘位于相同水平高度处且可电连接至栅极互连线的第二测试焊盘。所述源极漏极互连线可位于所述栅极互连线上。所述第一测试焊盘和所述第二测试焊盘可间隔地设置于所述衬底的不同侧上。所述第一测试焊盘、所述第二测试焊盘、以及所述源极漏极互连线可由相同材料形成并位于相同水平高度处。所述第二测试焊盘可经由形成于绝缘层中的接触孔连接至所述栅极互连线，所述绝缘层形成于所述栅电极与所述源电极和漏电极之间。所述有机发光显示装置还可包括：第一电极，连接至所述源电极和所述漏电极其中之一；以及第二电极，面对所述第一电极，发光层位于所述第二电极与所述第一电极之间。所述第一测试焊盘、所述第二测试焊盘、以及所述第一电极可由相同材料形成并位于相同水平高度处。所述第一测试焊盘可经由穿过钝化膜的第一接触孔连接至所述源极漏极互连线，所述钝化膜位于所述源电极和漏电极与所述第一电极之间。所述第二测试焊盘可经由第二接触孔连接至所述栅极互连线，所述第二接触孔穿过相继沉积在所述栅电极与所述第一电极之间的所述钝化膜和绝缘层。实施方式还通过提供一种制造有机发光显示装置的方法来实现，该方法包括：在衬底上形成栅电极和连接至栅电极的栅极互连线；在栅电极和栅极互连线上形成绝缘层；在绝缘层中形成接触孔，以暴露栅极互连线的一部分；在绝缘层上形成源电极和漏电极以及连接至源电极和漏电极的源极漏极互连线；形成连接至源极漏极互连线的第一测试焊盘和位于相同水平高度处的经由接触孔连接至栅极互连线的第二测试焊盘。所述第一测试焊盘和所述第二测试焊盘可间隔地设置在衬底的不同侧上。所述第一测试焊盘、所述第二测试焊盘、以及所述源极漏极互连线可由相同材料形成并位于相同水平高度处。所述方法，还可包括：形成连接至所述源电极和所述漏电极其中之一的第一电极；以及形成面对所述第一电极的第二电极，发光层位于所述第一电极与所述第二电极之间。所述第一测试焊盘、所述第二测试焊盘、以及所述第一电极可由相同材料形成并位于相同水平高度处。所述方法还可包括在所述源电极和漏电极与所述第一电极之间形成钝化膜。所述接触孔可形成为穿过所述钝化膜，所述第一测试焊盘可经由穿过所述钝化膜的第二接触孔连接至所述源极漏极互连线，所述第二测试焊盘可经由穿过所述钝化膜和所述绝缘层的接触孔连接至所述栅极互连线。所述方法还可包括通过所述第一测试焊盘和所述第二测试焊盘分别向所述源极漏极互连线和所述栅极互连线施加电信号，以测量所述源极漏极互连线和所述栅极互连线的电阻，从而确定是否已出现短路。所述方法还可包括：如果在确定出现短路，则停止相应产品的后续制造过程。附图说明对于本领域技术人员来说，通过参照附图更加详细地描述示例性实施方式，特征将变得显而易见，在附图中：图1示出根据示例性实施方式的有机发光显示装置的平面图；图2示出图1的有机发光显示装置中所包含的示例性像素的等效电路图；图3示出图1的有机发光显示装置中所包含的示例性TFT和示例性电容器区域的剖视图；图4示出图1的有机发光显示装置中所包含的示例性TFT和示例性EL装置区域的剖视图；以及图5示出根据示例性实施方式的有机发光显示装置中所包含的示例性TFT和示例性电容器区域的剖视图。具体实施方式现在将在下文中参照附图更加充分地描述示例性实施方式；然而，这些示例性实施方式可以表现为不同形式并且不应被解释为受限于文中所述的实施方式。相反，这些实施方式被提供，使得对本领域技术人员来说，本公开将是彻底和完整的，并且将充分覆盖本专利技术的范围。在附图中，为了使图示更加清楚，可以对层和区域的尺寸进行放大。还应理解，当层（或元件）被称为位于另一个层或衬底“上”时，其可以直接位于另一个层或衬底上，或者也可以存在有中间层。而且，还应理解，当层被称为位于另一个层“下”时，其可以直接位于另一个层下，或者也可以存在有一个或多个中间层。此外，还应理解，当层被称为位于两个层“之间”时，其可以仅位于两个层之间，或者也可以存在一个或多个中间层。相似的参考标号自始自终都涉及相似的元件。图1示出根据示例性实施方式的有机发光显示装置的平面图，并且图2示出图1的有机发光显示装置中所包含的示例性像素的等效电路图。作为参考，虽然图1为了便于描述而仅示出四个像素，但实际的产品在行方向和列方向上还可包括更多像素。参照图1和2，每个像素均可包括作为开关TFT的第一TFT21、作为驱动TFT的第二TFT23、作为存储元件的电容器22、由第一TFT21和第二TFT23驱动的有机电致发光装置（EL装置）24，等等。晶体管和电容器的数量不限于所示数量并且也可以包括比所示数量更多的晶体管和电容器。第一TFT21可在扫描信号经由栅极互连线26施加至其上时被驱动，并且可向数据互连线27传输数据信号。数据互连线27可由用于源电极和漏电极（213和214，见图3）的材料形成，并且可布置在相同水平高度和/或基本相同的水平高度处。例如，数据互连线27的一部分可沿着还包括源电极和漏电极的一部分的水平线布置。因此，数据互连线27还将被称为源极漏极互连线。根据通过第一TFT21传输的信号（例如，栅极和源极之间的电压差Vgs），第二TFT23可确定流入有机EL装置24内的电流强度。电容器22可在一帧期间存储通过第一TFT21传输的数据信号。有机发光显示装置还可包括与源极漏极互连线27电连接的第一测试焊盘201。第一测试焊盘201可对应于至少一个像素并且可以布置多个第一测试焊盘201。有机发光显示装置可包括与栅极互连线26电连接的第二测试焊盘202。第二测试焊盘202可对应于至少一个像素并且可以布置多个第二测试焊盘202。第一测试焊盘201和第二测试焊盘202可以是用于测试的焊盘，例如，开路/短路测试（OS测试），执行开路/短路测试，用于识别栅极互连线26和/或源极漏极互连线27中在制造有机发光显示装置的过程中是否出现短路。例如，电信号可通过测试器（未示出）的探针施加至第一测试焊盘201和第二测试焊盘202，以确定和/或确认测量到的电阻是否处于正常电阻范围内。如果测量到的电阻在正常电阻范围之外，则可以确定和/或确认已发生短路。此后，相应产品不会被进一步处理并且可以丢弃。第一测试焊盘201和第二测试焊盘202的详细结构和OS测试将在下面描述。图3和4示出图1的有机发光显示装置的剖视图。图3示出包括第一TFT21、电容器22、第一测试焊盘201和第二本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有机发光显示装置，包括：位于衬底上的栅电极、源电极、以及漏电极，所述栅电极位于与所述源电极和所述漏电极不同的层上；栅极互连线，连接至所述栅电极；源极漏极互连线，连接至所述源电极和所述漏电极；第一测试焊盘，电连接至所述源极漏极互连线；以及第二测试焊盘，电连接至所述栅极互连线，所述第二测试焊盘与所述第一测试焊盘位于相同水平高度处。

【技术特征摘要】
2011.08.26 KR 10-2011-00858161.一种有机发光显示装置，包括：位于衬底上的栅电极、源电极、以及漏电极，所述栅电极位于与所述源电极和所述漏电极不同的层上；栅极互连线，连接至所述栅电极；源极漏极互连线，连接至所述源电极和所述漏电极；第一测试焊盘，电连接至所述源极漏极互连线；以及第二测试焊盘，电连接至所述栅极互连线，所述第二测试焊盘与所述第一测试焊盘位于相同水平高度处，其中所述第一测试焊盘、所述第二测试焊盘、以及所述源极漏极互连线由相同材料形成并位于相同水平高度处。2.如权利要求1所述的有机发光显示装置，其中所述源极漏极互连线位于所述栅极互连线上。3.如权利要求1所述的有机发光显示装置，其中所述第一测试焊盘和所述第二测试焊盘在所述衬底的不同侧上间隔开。4.如权利要求1所述的有机发光显示装置，其中所述第二测试焊盘经由形成于绝缘层中的接触孔连接至所述栅极互连线，所述绝缘层形成于所述栅电极与所述源电极和漏电极之间。5.一种制造有机发光显示装...

【专利技术属性】
技术研发人员：金广海，崔宰凡，郑宽旭，李俊雨，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：