洗净液组成物及基板的洗净方法技术

本发明专利技术是有关于一种洗净液组成物及基板的洗净方法。该洗净液组成物包含碱剂(A)、式(I)所示的支链型界面活性剂(B)、聚乙二醇化合物(C)以及水(D)。其中，式(I)为R1-O-(EO)a(PO)b-H。式(I)的R1为碳数6至20的含支链的烷基、烯基或酰基，或碳数12至20的含支链烷基取代的苯基；EO为乙氧基；PO为丙氧基；a为1至20的整数；以及b为0至20的整数。该洗净液组成物具有长效洗净性且碱剂消耗性低，可有效洗净玻璃基板。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种，特别是涉及一种针对玻璃基板，具有长效洗净性及碱剂消耗性低的。
技术介绍
以往，作为电视、个人电脑、钟表等液晶显示用的玻璃基板，如钠钙玻璃、硼硅玻璃、硅玻璃、无碱玻璃等，可经溶融成形工程制得玻璃母板，并切割成任意尺寸以供使用。另外，近年来常用于彩色液晶显示器、感测器及色分解装置等的彩色滤光片，也在透明玻璃基板上形成黑色矩阵及红、绿、蓝的像素画像，并使用分散颜料用的感光性树脂，以一般微影工艺(photolithography)制得。 然而，上述玻璃基板在切割时，玻璃切削粉(glass cullet)常附着于基板上而妨碍后续的精密的研磨工艺、膜处理工艺等。此外，彩色滤光片在制造时，飞散的微粒或前工艺使用的感光性树脂的残渣等也会附着于基板上，其不仅造成制品良率的低下，且当彩色滤光片与TFT阵列(TFTarray)贴合时甚至可能产生共同短路(common short)的情形。因此，上述工艺中导入了玻璃基板的洗净工艺，而基板的制造及加工厂商为了提高制造良率，也致力于洗净技术的提升。特别是近年来，对于制品高度信赖性的需求，以及彩色滤光片的高精度化的走向，玻璃基板清净化的要求变得愈来愈高。为有效清除上述基板上残存的附着物，目前业界改善的方式，是采用特定的洗净液组成物清洗玻璃基板。例如，日本特开2007-131819号公开特许公报揭示，使用含烷基葡萄糖苷(alkyl glucoside)的洗净液组成物；日本特开2009-084565号公开特许公报揭示，使用含非离子型界面活性剂、水、特定酸(或其盐类)及碱剂的碱型非离子界面活性剂组成物等。然而，使用上述洗净液组成物清洗玻璃基板时，仍有重复使用率低及碱剂消耗量高的问题，造成了成本提高。由此可见，上述现有的在使用上，显然仍存在有不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决上述存在的问题，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道，但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，而一般产品及方法又没有适切的结构及方法能够解决上述问题，此显然是相关业者急欲解决的问题。因此如何能创设一种新的，实属当前重要研发课题之一，亦成为当前业界极需改进的目标。有鉴于此，本申请提出一种，藉以改善现有习知的洗净液组成物重复使用率低及碱剂消耗量高等缺点。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，克服现有的洗净液组成物存在的缺陷，而提供一种新的洗净液组成物，所要解决的技术问题是使其通过至少包含碱剂(A)、支链型界面活性剂(B)、聚乙二醇化合物(C)以及水(D)，而具有重复使用率高及碱剂消耗量低的优点，从而更加适于实用。本专利技术的另一目的在于，克服现有的基板的洗净方法存在的缺陷，而提供一种新的基板的洗净方法，所要解决的技术问题是使其利用上述洗净液组成物清洗基板，从而更加适于实用。本专利技术的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本专利技术提出的一种洗净液组成物，其包含碱剂⑷；如式⑴所示的支链型界面活性剂⑶；R1-O-(EO)a(PO)b-H (I)其中R1为碳数6至20的含支链的烷基、烯基或酰基，或碳数12至20的含支链烷 基取代的苯基，EO为乙氧基，PO为丙氧基，a为I至20的整数，b为0至20的整数；聚乙二醇化合物(C);以及水(D)；其中，该聚乙二醇化合物(C)的重量平均分子量为100至6000。本专利技术的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。前述的洗净液组成物，其中基于该碱剂(A)为100重量份，该支链型界面活性剂(B)的使用量为10重量份至500重量份，该聚乙二醇化合物(C)的使用量为10重量份至500重量份，且该水(D)的使用量为500重量份至30，000重量份。前述的洗净液组成物，其还包含一螯合剂(E)。前述的洗净液组成物，其中基于该碱剂(A)为100重量份，该螯合剂(E)的使用量为2重量份至100重量份。前述的洗净液组成物，其中该洗净液组成物的粘度为Icps至20cps。本专利技术的目的及解决其技术问题还采用以下技术方案来实现。依据本专利技术提出的一种清洗基板的方法，其是使用根据上面所述的洗净液组成物清洗一基板。本专利技术与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。借由上述技术方案，本专利技术至少具有下列优点及有益效果本专利技术的，其中该洗净液组成物包含碱剂(A)、式(I)所示的支链型界面活性剂(B)、聚乙二醇化合物(C)以及水(D)。其中，式⑴SR1-O-(EO)a(PO)b-H15式⑴的R1为碳数6至20的含支链的烷基、烯基或酰基，或碳数12至20的含支链烷基取代的苯基；E0为乙氧基；P0为丙氧基；a为I至20的整数；以及b为0至20的整数。该洗净液组成物具有长效洗净性且碱剂消耗性低，可有效洗净玻璃基板。上述说明仅是本专利技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本专利技术的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例详细说明如下。具体实施例方式为更进一步阐述本专利技术为达成预定专利技术目的所采取的技术手段及功效，以下结合较佳实施例，对依据本专利技术提出的其具体实施方式、结构、方法、步骤、特征及其功效，详细说明如后。有关本专利技术的前述及其他
技术实现思路
、特点及功效，在以下配合较佳实施例的详细说明中将可清楚呈现。通过具体实施方式的说明，应当可对本专利技术为达成预定目的所采取的技术手段及功效获得一更加深入且具体的了解。本专利技术的正型感光性树脂组成物包括碱剂(A)、式(I)所示的支链型界面活性剂(B)、聚乙二醇化合物(C)以及水(D)，以下具体析述。碱剂(A)本专利技术的碱剂(A)包含无机碱性化合物(A-I)及/或有机碱性化合物(A-2)。上述无机碱性化合物(A-I)的具体例，如氢氧化锂、氢氧化钠、氢氧化钾、氢氧化铵等的碱金属氢氧化物；磷酸氢二铵、磷酸氢二钠、磷酸氢二钾、磷酸二氢铵、磷酸二氢钠、磷酸二氢钾等的碱金属或铵的磷酸盐类；硅酸锂、硅酸钠、硅酸钾等的碱金属硅酸盐类；碳酸锂、碳酸钠、碳酸钾等的碱金属碳酸盐类；硼酸锂、硼酸钠、硼酸钾等的碱金属硼酸盐类。其中，以碱金属氢氧化物较佳。上述的无机碱性化合物(A-I)可以单独一种使用或者混合 多种使用。本专利技术的有机碱性化合物(A-2)包含氢氧四级铵基盐类化合物及有机胺类的有机碱性化合物。上述氢氧四级铵基盐类化合物的具体例，如氢氧四甲铵(tetramethylammonium hydroxide)、氢氧四乙胺、氢氧四丙胺、氢氧四丁胺、2-轻基-氢氧三甲铵(2-hydroxyl trimethyl ammonium hydroxide)等化合物；而有机胺类的具体例如单甲胺、二甲胺、三甲胺、单乙胺、二乙胺、三乙胺、单异丙胺(monoisopropylamine)、二 -异丙胺(di-isopropylamine)、单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、2-(2-胺基乙氧基)乙醇(2- (2-aminoethoxy) ethanol)、单异丙醇胺(monoisopropanol-amine)、二异丙醇胺、三异丙醇胺、正乙基乙醇胺(N-ethyl ethanolamine)、正丁基乙醇胺、N, N-二甲基乙醇胺(N,N-dimethyl ethanolamine)、N, N-二甲基丙醇胺、N, N-二甲基异丙醇胺(N, N-dimeth本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种洗净液组成物，其特征在于，其包含：碱剂(A)；如式(I)所示的支链型界面活性剂(B)；R1?O?(EO)a(PO)b?H????(I)其中R1为碳数6至20的含支链的烷基、烯基或酰基，或碳数12至20的含支链烷基取代的苯基，EO为乙氧基，PO为丙氧基，a为1至20的整数，b为0至20的整数；聚乙二醇化合物(C)；以及水(D)；其中，该聚乙二醇化合物(C)的重量平均分子量为100至6000。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：蔡宇杰，谢依纯，
申请(专利权)人：奇美实业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：