一种全集成SBC超导量子干涉器件制造技术

本发明专利技术涉及超导量子干涉器件（SQUID，Superconducting?QUantum?Interference?Device）技术领域。其特征在于将多环结构SQUID与电感线圈、电阻集成在一起构成全集成多环结构SBC?SQUID，其中两个电感线圈分别与多环结构SQUID器件存在磁耦合，另一个电感作为器件的反馈线圈，两个电阻分别是器件的并联支路电阻和器件的加热电阻。本器件具有功能全面、易于调整参数等特点，而且因为器件结构均是由窄条薄膜构成，减小了磁通蠕动效应的影响，提高了器件对工作环境的适应能力。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种磁探测传感器，更确切地说本专利技术涉及一种全集成SBC超导量子干涉器件。属于超导量子干涉器件(SQUID)

技术介绍
超导量子干涉器件(SQUID)是以磁通量子化和约瑟夫森效应为理论基础，由超导约瑟夫森结和超导环组成的超导电子器件，它能将磁场的微小变化转换为可测量的电压，相当于一个磁通-电压转换器，是目前为止测量磁场灵敏度最高的传感器。低温超导SQUID器件通常工作在液氦温度(4. 2K)下，它的磁通灵敏度通常在KT6OcZHzv2量级(Φ。=2. 07 X I(T15Wb),对磁场的灵敏度在fT/Hz1/2量级(IfT = 1X10_15T)。由于低温SQUID器 件具有极高的磁场灵敏度，因此在极微弱磁信号探测领域具有重要的应用价值。例如，在生物磁探测方面，目前国际上多家研究机构发展了基于SQUID器件的脑磁图仪和心磁图仪，使用这些仪器对人体脑磁信号和心磁信号进行研究，已经取得丰富的研究成果；在地球磁场探测领域，发展了基于SQUID器件的航空超导全张量磁测量系统，是目前唯一能够进行地球磁场全张量磁梯度信息探测的系统，这套系统可高效率、高精度的对地下磁性本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种全集成SBC超导量子干涉器件，所述的器件由两个并联支路构成，其特征在于组成SBC超导量子干涉器件的SQUID部件、电感L1、电感L2和与电感L2串联的电阻采用全部集成在一起的平面薄膜型结构，核心的SQUID部件设计为多环结构SQUID，多环结构SQUID的超导环由多个超导环并联而构成。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王会武，荣亮亮，谢晓明，张懿，
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，
类型：发明
国别省市：