一种微机械系统中微悬臂梁粘附力的测量结构及测量方法技术方案

本发明专利技术公开了一种微机械系统中微悬臂梁粘附力的测量结构，包括衬底、被测十字梁、参考十字梁、下拉电极、拉动电极、衬底接触电极和窄条电极组；被测十字梁由第一横梁和第一扭转支撑梁组成，参考十字梁由第二横梁和第二扭转支撑梁组成，第一扭转支撑梁和第二扭转支撑梁分别通过锚区连接在衬底上；衬底接触电极和下拉电极位于第一横梁同一侧下方；窄条电极组位于第二横梁一侧端部的下方；拉动电极位于第一横梁另一侧和第二横梁另一侧的下方；所述的窄条电极组包括至少三根相互平行布置的窄条电极，每根窄条电极的末端均连接一个压焊块。利用该测量结构能够获取被测十字梁的粘附力性能。本发明专利技术还公开了该测量结构的测量方法，方便易行。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种微机械系统(文中简称MEMS)制造、性能及其可靠性测试的领域，具体来说，涉及。
技术介绍
MEMS器件，如开关、加速度计等，其中的可动结构在工作中常常会出现两表面互相粘连在一起的现象，导致MEMS器件失效。粘附与可动结构的材料、几何尺寸以及加工工艺密切相关，影响因素复杂。为了了解和掌握MEMS器件在不同环境下的粘附特性，提供一种方便且准确的接触粘附力测量方法显得非常必要。目前粘附力的测量方法主要是利用原子力显微镜对两块材料的粘附力进行测量，也有利用白光干涉仪，通过测量梁的粘附临界长度计算粘附能，间接获取粘附力信息。现有的测量方法，操作要求高，仪器成本昂贵。因此，提供一种电学测量方法，直接获取有关粘附力的信息，显得更为方便和实用。
技术实现思路
技术问题本专利技术所要解决的技术问题是，提供一种微机械系统中微悬臂梁粘附力的测量结构，利用该测量结构能够获取被测十字梁的粘附力性能，同时本专利技术还提供该测量结构的测量方法，该方法方便易行，结果可靠。技术方案为实现解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是一种微机械系统中微悬臂梁粘附力的测量结构，所述的测量结构包括衬底、被测十本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微机械系统中微悬臂梁粘附力的测量结构，其特征在于：所述的测量结构包括衬底（1）、被测十字梁（2）、参考十字梁（3）、用于静电激励的下拉电极（4）、用于粘附分离的拉动电极（5）、衬底接触电极（6）和窄条电极组（7）；被测十字梁（2）和参考十字梁（3）具有相同尺寸和形状，且由相同材料制成；被测十字梁（2）由第一横梁（21）和与第一横梁（21）垂直交叉连接的第一扭转支撑梁（22）组成，参考十字梁（3）由第二横梁（31）和与第二横梁（31）垂直交叉连接的第二扭转支撑梁（32）组成，第一横梁（21）平行于第二横梁（31），第一扭转支撑梁（22）的两端和第二扭转支撑梁（32）的两端分别通过锚区连接在衬...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：唐洁影，蒋明霞，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：