基于扩张-收缩管微泵的射流转子陀螺制造技术

本实用新型专利技术涉及一种基于扩张-收缩管微泵的射流转子陀螺，属于惯性测量领域。该射流转子陀螺的检测腔分别通过相应的出气口与相应的振动腔连通；所述各出气口径向错开；出气口为锥形通道，其小端与所述检测腔连接，大端与振动腔连接；同时，振动腔还通过锥状进气口与外界连通，锥形小端与外界连接，大端与振动腔连接。该射流转子陀螺充分利用合成射流的特点，利用进气口与出气口对气流的阻力的不同，实现气体的定向传输，单向流动，即由进气口到出气口，由振动腔到检测腔的传输与流动。利用通气孔与外界相通，解决了由于压电片振动引起的气体温度升高，提高射流转子陀螺的精度。振动腔振动相位相差为0时，产生的气流转子轴与壳体轴有更好的一致性。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种基于扩张-收缩管微泵的射流转子陀螺，属于惯性测量领域。
技术介绍
扩张-收缩管微泵利用收缩管/扩张管流体阻性特性实现流体的定向输送，在流动控制领域，如流动分离及气动力控制、射流矢量控制、增强掺混及传热传质控制、微流体传输与控制等方向具有十分广阔的应用前景。射流转子陀螺的基本原理是通过微泵喷出的气体在检测腔中形成一个气流转子，该射流转子具有传统机械转子所具有的定轴性和进动性。当外界有垂直于或平行于流体转子转轴的角速度或加速度输入时，与壳体固定的热敏电阻就会与射流转子产生一个相对的运动引起热敏电阻电阻值的变化，通过相应检测电路即可以实现对角速度或加速度的检测。射流转子陀螺可以实现六自由度测量，具有实现技术容易、抗冲击性好、工艺简单等优点，是一项很有前景的MEMS惯性传感器。参照图7，在申请号为201110189839. O的专利文献“一种新型MEMS射流转子陀螺”中，西北工业大学提出了一种新型MEMS射流转子陀螺，包括腔体层、上密封层、下密封层和热敏电阻层。所述的腔体层包括检测腔和围绕检测腔周向均布的振动腔；热敏电阻层位于腔体层上方，用于检测气流偏转。下密封层的两个压本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于扩张？收缩管微泵的射流转子陀螺，依次包括上密封层（1）、热敏电阻层（2）、腔体层（3）和下密封层（5）；所述的腔体层（3）上有一贯穿的圆柱空腔，在所述圆柱空腔外侧周向均布有多个振动腔；各振动腔均未贯通所述的腔体层（3），未贯通部分分别形成相应的振动薄膜；各振动薄膜下分别连有压电片；所述圆柱空腔分别通过相应的出气口与相应的振动腔连通；所述各出气口径向错开；出气口为锥形通道，其小端与所述圆柱空腔连接，大端与振动腔连接；同时，振动腔还通过锥状进气口与外界连通，锥形小端与外界连接，大端与振动腔连接；上密封层（1）位于腔体层（3）上方；热敏电阻层（2）位于检测腔（33）上方，由4个周向均布的悬置...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：常洪龙，周平伟，杨勇，郝永存，洪水金，谢建兵，袁广民，
申请(专利权)人：西北工业大学，
类型：实用新型
国别省市：