太阳能电池制造工艺中膜叠堆的烧蚀制造技术

本发明专利技术涉及用激光烧蚀太阳能电池(105)的介电膜叠堆。所述介电膜叠堆包括在激光源(102)的工作波长下具有吸收性的层。以一定的脉冲重复率发射激光脉冲(103)的所述激光源(102)被配置成烧蚀所述膜叠堆，以暴露下面的材料层。所述激光源(102)可被配置成在单个脉冲重复内发射两个激光脉冲的脉冲串或单个时间不对称的激光脉冲，从而在单个步骤中实现完全烧蚀。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】太阳能电池制造工艺中膜叠堆的烧蚀与联邦政府资助的研究或开发相关的声明本公开在政府支持下根据美国能源部授予的第DEFC36-07G017043号合同进行。专利技术背景1.
本专利技术整体涉及太阳能电池，更具体地讲但不排他地涉及太阳能电池制造工艺和结构。2.
技术介绍
太阳能电池是熟知的用于将太阳辐射转换成电能的装置。它们可以在半导体晶片上用半导体加工技术制造而成。太能电池括P型和N型扩散区。投射在太阳能电池上的太阳辐射产生迁移至扩散区的电子和空穴，从而在扩散区之间形成电压差。在背接触太阳能电池中，扩散区和与它们相连的金属触指均位于太阳能电池的背面上。触指允许将外部电路连接到太阳能电池上并由太阳能电池提供电力。太阳能电池介电膜可以包括多个不同性质的层，以满足制造和操作要求。在制造过程中将这些层移除，以形成通往太阳能电池扩散区的金属触点。这些层的性质会影响这些层的移除并可加大移除这些层的难度。
技术实现思路
在一个实施例中，将太阳能电池的介电膜叠堆用激光进行烧蚀。介电膜叠堆包括在激光源工作波长下具有吸收性的层。以脉冲重复率发射激光脉冲的激光源被配置成烧蚀膜叠堆，以暴露下面的材料层。激光源可被配本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：加布里埃尔·哈利，金太锡，彼得·约翰·卡曾斯，
申请(专利权)人：太阳能公司，
类型：
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