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太阳能电池制造工艺中膜叠堆的烧蚀制造技术
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文档序号:8349132
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本发明涉及用激光烧蚀太阳能电池(105)的介电膜叠堆。所述介电膜叠堆包括在激光源(102)的工作波长下具有吸收性的层。以一定的脉冲重复率发射激光脉冲(103)的所述激光源(102)被配置成烧蚀所述膜叠堆,以暴露下面的材料层。所述激光源(10...
该专利属于太阳能公司所有,仅供学习研究参考,未经过太阳能公司授权不得商用。
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