用于图像传感器的光导阵列制造技术

一种图像传感器，其包含一由一衬底支撑的光电转换单元以及一位于该衬底邻近处的绝缘体。该图像传感器包含一串联式光导，该串联式光导位于该绝缘体的一开口内且在该绝缘体上方延伸，使得该串联式光导的一部分具有一空气界面。该空气界面会改进该串联式光导的内反射。该串联式光导可包含一自动对准彩色滤光片，其在相邻彩色滤光片之间具有间隙。该光导的前述特征不需要用到微透镜。除此之外，一抗反射堆叠插设在该衬底与该光导之间，用以降低来自该图像传感器的向后反射。具有不同彩色滤光片的两个像素对于在该抗反射堆叠内的一抗反射膜可有不同的厚度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术主要内容大体上涉及用于制造固态图像传感器的结构与方法。
技术介绍
·摄影设备(例如数字相机与数字摄录像机)可含有电子图像传感器，它们会捉取光·以处理成静态或视频图像。电子图像传感器通常含有数百万个光捉取组件，例如光二极管。固态图像传感器可为电荷耦合装置(CXD)型或互补金属氧化物半导体(CMOS)型。在任一类型的图像传感器中，光传感器会形成在衬底中且以二维阵列来排列。图像传感器通常含有数百万个像素，用以提供高分辨率图像。图IA所示的是现有技术固态图像传感器I的剖面图，图中在CMOS型传感器中显示多个相邻像素，其揭露于美国专利案7，119，319号。每一个像素具有一光电转换单元2。每一个转换单兀2位于传输电极3邻近处,其会将电荷传输到浮动扩散单兀(未显不)。该结构包含埋置在绝缘层5中的多条电线4。该传感器通常包含位于彩色滤光片8下方的平坦化层6，用以补偿因该等电线4所导致的顶表面不平整，因为平坦表面对借光刻来进行的常规彩色滤光片构成方式来说相当重要。第二平坦化层10被设置在该彩色滤光片8上方，用以提供平坦表面来形成微透镜9。平坦化层6与10加上彩色滤光片8的总厚度约为2.O本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种图像传感器像素，其包含：一衬底；一光电转换单元，其由该衬底支撑；一保护膜，其在该衬底上方延伸且跨越该衬底；？？以及一串联式光导，其中该串联式光导的一第一部分位于该保护膜与该衬底之间而该串联式光导的一第二部分则在该保护膜上方延伸，其中两个不同像素中至少有两个串联式光导具有不同的剖面轮廓，其中第一部分的垂直中线和第二部分的垂直中线彼此偏离，该偏离根据阵列内的像素位置而改变，位于该阵列的外部处的像素的偏离比较大。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：郑苍隆，坦特龙多，
申请(专利权)人：郑苍隆，坎德拉微系统S私人有限公司，
类型：发明
国别省市：