分光元件及其制造方法技术

本发明专利技术是有关于一种分光元件及其制造方法，所述分光元件包含：一基板单元，以及二个位于该基板单元的两相反侧的表面上的棱镜。该基板单元包括至少一基板，以及一披覆在该基板上并具有分光作用的分光薄膜，该分光薄膜包括数层堆叠设置的薄膜层，所述薄膜层的材料为无机材料。借由在平板状的基板上镀膜，比起以往在形状立体的棱镜上镀膜要容易许多，具有易于制造的优点。而且该分光薄膜为无机材料，耐热、耐UV光、耐压，所述薄膜层之间以真空镀膜方式直接堆叠结合，工艺简单方便。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种，特别是涉及一种能应用于投影设备或其它光学系统中，并将不同强度或者不同偏振方向的光分开的。
技术介绍
分光元件(beam splitter)用于将入射光线分成两部分,而且依据不同的分光功能，可区分为波段(或色光)分光元件、光强分光元件及偏极分光元件。如图I所示，为一种已知偏极分光元件1，包括两个固定结合的棱镜11，以及一个位于所述棱镜11的结合面之间的分光膜12,该分光膜12可用于将一入射光A的垂直方向偏振光(S偏振光)A1反射， 并使该入射光A的平行方向偏振光(P偏振光)A2通过，达到偏极分光的作用。而该偏极分光元件I在制造时，必需先在其中一棱镜11表面镀膜而形成该分光膜 12，再将另一棱镜11与该形成有分光膜12的棱镜11，经过对位调整后而胶合固定。但由于棱镜11形状通常为立体三角柱状，不像长方体、正方体或板片物等物体的形状较规则， 所以在形成该分光膜12时，必需用特殊的夹持治具固定该棱镜11，但要在三角柱状的棱镜 11上形成分光膜12的难度较高，而且也受限于棱镜11的形状，所述棱镜11镀膜时的设置密度受限，无法一次对大量棱镜11镀膜，造成镀膜成本高、各元件的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种分光元件，包含两个棱镜，其特征在于：该分光元件还包含一个基板单元，该基板单元包括至少一个基板，以及一个披覆在该基板上并具有分光作用的分光薄膜，该分光薄膜包括数层堆叠设置的薄膜层，所述薄膜层的材料为无机材料；所述两棱镜位于该基板单元的两个相反侧的表面上。

【技术特征摘要】
1.一种分光元件，包含两个棱镜，其特征在于该分光元件还包含一个基板单元，该基板单元包括至少一个基板，以及一个披覆在该基板上并具有分光作用的分光薄膜，该分光薄膜包括数层堆叠设置的薄膜层，所述薄膜层的材料为无机材料；所述两棱镜位于该基板单元的两个相反侧的表面上。2.如权利要求I所述的分光元件，其特征在于该基板单元包括一个基板，该基板包括一个供该分光薄膜披覆的结合面，以及一个相反于该结合面的棱镜安装面，所述其中一个棱镜位于该基板的棱镜安装面上，另一个棱镜位于该分光薄膜的表面上。3.如权利要求I所述的分光元件，其特征在于该基板单元包括两个基板，每一个基板都包括一个朝向另一个基板的结合面，以及一个相反于该结合面的棱镜安装面，该分光薄膜位于所述两基板的结合面之间，所述两棱镜各别位于所述两基板的棱镜安装面上。4.如权利要求I至3中任一项所述的分光元件，其特征在于该分光薄膜的厚度小于或等于15微米。5.如权利要求4所述的分光元件，其特征在于该分光薄膜的厚度小于或等于5微米。6.如权利要求I至3中任一项所述的分光元件，其特征在于所述薄膜层的材料为无机介电材料。7.如权利要求I至3中任一项所述的分光元件，其特征在于所述基板与所述棱镜的 折射率相同。8.如权利要求I所述的分光兀件，其特征在于该分光兀件是一个偏极分光兀件。9.一种分光元件的制造...

【专利技术属性】
技术研发人员：王介文，彭伟捷，李卫华，
申请(专利权)人：旭丽电子广州有限公司，光宝科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：