一种微透镜增强型滑块式共聚焦光学扫描仪制造技术

本发明专利技术涉及一种微透镜增强型滑块式共聚焦光学扫描仪，特别涉及使用CCD、EMCCD和CMOS等面阵探测器作为检测器的滑块式共聚焦光学扫描仪。该微透镜增强型滑块式共聚焦光学扫描仪的主要特征是：同时驱动微透镜阵列和排列了多个透光针孔的不透光滑块以设定的恒定速度往复滑动来扫描样品；排列了多个透光针孔的不透光滑块位于微透镜阵列的焦平面上，微透镜阵列上的微透镜与滑块上的针孔一一对应，微透镜的焦点与针孔的中心重合。该微透镜增强型滑块式共聚焦光学扫描仪有照明效率高、低杂散光背景噪声、易于与相机曝光控制同步化、照明强度均一等优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种微透镜增强型滑块式共聚焦光学扫描仪，特别涉及使用CCD、 EMCCD和CMOS等面阵探测器作为检测器的多针孔共聚焦光学扫描装置。
技术介绍
目前，已有的滑块式共聚焦扫描仪主要由排列多个透光针孔的不透光单滑块或双滑块和透镜组构成，工作时通过电机驱动滑块往复运动实现扫描成像。为了避免相邻针孔之间的干扰、提高扫描仪的成像质量，针孔以一定的方式和距离排列在滑块上。由于针孔的面积只有整个滑块面积的2%，导致光源的利用效率也只有2%。因此，造成扫描仪的照明强度不足和滑块反射杂散光噪声高的问题。
技术实现思路
本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是在光源和滑块之间，放置一个微透镜阵列，微透镜阵列中的微透镜与针孔一一对应，使光源发射的光经过微透镜阵列后分束、 聚焦通过滑块上的每一个针孔，然后照射在样品上。由于微透镜对光的聚焦作用，穿过针孔的光通量得以提高，因此提高了光源的利用效率；并同时减少了滑块反射的杂散光，降低扫描仪的杂散光噪声。本专利技术如图I所示包括光源I ;照明滤色镜2 ;照明透镜组3 ;微透镜阵列4，其上排列了多个微透镜·5 ;滑块支架6 ;驱动电机7 ;二色分光镜8本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微透镜增强型滑块式共聚焦光学扫描仪，通过同时驱动微透镜阵列和排列了多个透光针孔的不透光滑块以设定的恒定速度往复滑动来扫描样品，其特征在于所述微透镜阵列的微透镜与所述不透光滑块上的针孔一一对应。

【技术特征摘要】
1.一种微透镜增强型滑块式共聚焦光学扫描仪，通过同时驱动微透镜阵列和排列了多个透光针孔的不透光滑块以设定的恒定速度往复滑动来扫描样品，其特征在于所述微透镜阵列的微透镜与所述不透光滑块上的针孔一一对应。2.根据权利要求I所述的微透镜增强型滑块式共聚焦光学扫描仪，其特征在于，所述排列了多个透光针孔的不透光滑块位于所述微透镜阵列的焦平面上。3.根据权利要求I至2所述的微透镜增强型滑块式共聚焦光学扫描仪，其特征在于，所述微透镜阵列的微透镜的焦点与所述不透光滑块上的针孔的中心一一重合。4.根据权利要求I至3所述的微透镜增强型滑块式共聚焦光学扫描仪，其特征在于，所述微透镜阵列由菲涅耳透镜、次级曲面反射镜、微型凸透镜型微透镜中的一种或多种构成。5.一种通过同时驱动微透镜阵列和排列了多个透光针孔的不透光滑块以设定的恒定速度往复滑动来扫描样品以设定的恒定速度往复滑动来扫描样品的微透镜增强型滑块式共聚焦光学扫描仪，由以下部分组成 光源(I); 排列了微透镜(5)的微透镜阵列⑷和其上排列了多个透光针孔(10)其余部分不透光的滑块(9)； 驱动所述微透镜阵...

【专利技术属性】
技术研发人员：赖博，
申请(专利权)人：赖博，
类型：发明
国别省市：