【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种绝对波长校准仪，主要适用于波长计和光谱仪。
技术介绍
绝对波长是激光的一项基本光学参数。在激光应用中具有重要的作用，例如为了修正光刻机中投影物镜的成像像差、提高设计精度，需要知道绝对激光波长。在激光光谱技术中，为了提高激光输出的稳定性，需要实时测量激光输出波长，并根据输出波长与目标波长的漂移量来调谐光栅等元件调谐激光波长，从而实现激光波长的稳定控制。因此，对激光绝对波长的标定和测量具有重要意义。先在技术中，采用多个标准具并用迭代算法来校准激光波长，参见文献P. S. Bhatia, C. ff. McCluskey, and J. ff. Keto, Calibration of aComputer-ControlledPrecision Wavemeter for Use with Pulsed Lasers, Appl. Opt. 38，2486 (1999)。该技术中采用迭代算法，而迭代算法本质上是一种近似算法，不仅其精度难以保证而且运算过程费时。此外，该技术采用空间耦合的方式将校准光源和待测光源耦合到测量系统中时仅有一个端口，两种光源需...
【技术保护点】
一种绝对波长校准仪，其特征在于该校准仪由校准光源（1）、待测光源（2）、第一光纤（3）、第二光纤（4）、光纤耦合器（5）、第三光纤（6）、小孔（7）、抛物面高反镜（8）、光栅（9）、成像透镜（10）、线性光电探测器（11）和电脑（12）组成，上述各部分的位置关系如下：所述的校准光源（1）和待测光源（2）分别经第一光纤（3）和第二光纤（4）与所述的光纤耦合器（5）的输入端相连，该光纤耦合器（5）的输出的耦合光束经第三光纤（6）传输到所述的小孔（7）处，由该小孔（7）发散的光束经所述的抛物面高反射镜（8）扩束和准直后入射到所述的光栅（9），所述的校准光源（1）和待测光源（2）经...
【技术特征摘要】
1.一种绝对波长校准仪，其特征在于该校准仪由校准光源(I)、待测光源(2)、第一光纤(3)、第二光纤(4)、光纤稱合器(5)、第三光纤(6)、小孔(7)、抛物面高反镜(8)、光栅(9)、成像透镜(10)、线性光电探测器(11)和电脑(12)组成，上述各部分的位置关系如下所述的校准光源(I)和待测光源(2)分别经第一光纤(3)和第二光纤(4)与所述的光纤耦合器(5 )的输入端相连,该光纤稱合器(5 )的输出的稱合光束经第三光纤(6 )传输到所述的小孔(7)处，由该小孔(7)发散的光束经所述的抛物面高反射镜(8)扩束和准直后入射到所述的光栅(9)，所述的校准光源(I)和待测光源(2)经该光栅(9)的衍射后经所述的成像透镜(10)成像在所述的线性光电探测器(11)上，所述的电脑(12)对校准光源(I)和待测光源(2)的光斑在线性光电探测器(11)上成像的像素位置分别进行读取和记录，进行数据处理，得到待测光源(2)的绝对波长。2.根据权利要求I所述的绝对波长校准仪，其特征在于所述的校准光源(...
【专利技术属性】
技术研发人员：张海波，袁志军，周军，楼祺洪，魏运荣，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：
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