【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于电火工品
，具体涉及一种基于微机械加工技术的金属薄膜桥点火器及其制备方法。更具体地说，本专利技术涉及，其电阻发热元件由一种金属薄膜桥结构组成，并且通过选择较低热导率的基片和过渡层薄膜，降低了点火器的点火能量和工作电压，提高了点火器的点火时间，通过通孔实现了极针与点火器电极区的电气互连，增强了点火器工作的可靠性水平。
技术介绍
通常，桥丝式电火工品点火器是人们一直普遍使用的点火方式，是由一跟悬吊式 电阻加热丝和两个电极相连组成，这种结构的点火器在较强的振动环境下，桥丝径向存在的拉伸作用容易导致桥丝发生变形，造成桥丝阻值改变从而影响点火器点火性能，并可能造成桥丝断裂及焊点破裂脱焊，造成点火器瞎火，极大的降低了桥丝式点火器的可靠性水平，且桥丝式点火器一般无法满足低发火能量和快速发火的要求。金属薄膜桥点火器是通过物理气相淀积方法在基片上沉积点火材料，薄膜桥阻值大小由其几何形状决定，实际中可以通过改变薄膜桥长度、宽度及厚度获得不同的电阻值。换句话说，金属薄膜桥外形结构可以根据不同的性能要求进行设计以满足不同的功能，这是金属薄膜桥点火器最为突出的优点之一...
【技术保护点】
一种金属薄膜桥点火器，其特征在于，所述金属薄膜桥点火器（1）包括基片（2），设于基片（2）上的过渡膜（3），设于过渡层薄膜（3）上的热隔离膜（4），设于热隔离膜（4）上的金属电阻膜（5），设于金属电阻膜（5）上的电极薄膜（6），设于电极薄膜（6）上的通孔（13）；所述基片（2）材料为聚酰亚胺；所述过渡层薄膜（3）材料为Ta2O5；所述热隔离膜（4）材料为SiO2。
【技术特征摘要】
1.一种金属薄膜桥点火器，其特征在于，所述金属薄膜桥点火器(I)包括基片(2)，设于基片(2)上的过渡膜(3)，设于过渡层薄膜(3)上的热隔离膜(4)，设于热隔离膜(4)上的金属电阻膜(5)，设于金属电阻膜(5)上的电极薄膜(6)，设于电极薄膜(6)上的通孔(13)；所述基片(2)材料为聚酰亚胺；所述过渡层薄膜(3)材料为Ta2O5 ;所述热隔离膜(4)材料为Si02。2.如权利要求I所述的金属薄膜桥点火器，其特征在于，所述基片(2)直径为IOOmm 400mm,厚度为30 μ m 200 μ m ;所述过渡层薄膜(3)厚度为O. 05 μ m O. I μ m ;所述热隔离膜(4)厚度为O. Ιμπι Ιμπι ;所述金属电阻膜厚(5)度为O. 2μηι 4μηι ;所述电极薄膜(6)厚度为O. 05 μ m O. I μ m。3.如权利要求I所述的金属薄膜桥点火器，其特征在于，所述金属电阻膜(5)材料为Ni-Cr 合金、Ta2N, Cr、Pt、W 中的一种。4.如权利要求I所述的金属薄膜桥点火器，其特征在于，所述金属电阻膜(5)材料为Ni-Cr合金。5.如权利要求I所述的金属薄膜桥点火器，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：谢贵久，景涛，颜志红，白庆星，张建国，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十八研究所，
类型：发明
国别省市：
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