【技术实现步骤摘要】
本技术涉及石英产品的制造领域,尤其是适用于一种石英环类产品加工治具。
技术介绍
石英环类产品属于半导体设备中的必要产品,现有制造技术中,石英环类产品制造时产品需要在加热平台上加热后,在产品和石英定盘上涂上高强度石蜡,使产品和定盘很好吻合粘结;然后使产品和定盘冷却,再用夹具装夹到机床工作台上,加工完成后,在将粘有产品的定盘放置在加热平台上加热使石蜡溶解,并用沸水洗净油脂。由于主要是手工 作业过程,所以产品与定盘的吻合程度很难保证,同时电量消耗较大,反复搬运工作量大,粘蜡工作周期也比较长,浪费时间。采用粘蜡的加工方法存在的缺点是整体效率低,能耗加大,质量不稳定,粘蜡过程会产生产品粘结面的划伤;同时,需要将产品搬来搬去,安全也是一个很大的问题。
技术实现思路
为了解决现有技术中手工粘蜡操作时存在的整体效率低,能耗大,质量不稳定且粘蜡过程会产生产品粘结面的划伤等问题,本技术提供一种产品加工效率高且质量稳定可靠的质量、电能消耗低的石英环类产品加工治具。本技术采用的技术方案是石英环类产品加工治具,其特征在于包括产品吸盘治具、真空吸盘、压块、机床工作台、气管和与所述气管连接的连接 ...
【技术保护点】
石英环类产品加工治具,其特征在于:包括产品吸盘治具、真空吸盘、压块、机床工作台、气管和与所述气管连接的连接头,所述真空吸盘通过所述压块与所述机床工作台连接,所述连接头通过胶体与所述真空吸盘固定连接,所述产品吸盘治具通过石蜡与所述真空吸盘粘结。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:杨军,童健康,吴然红,苏云飞,饶开红,顾永明,
申请(专利权)人:杭州大和热磁电子有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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