基于金属纳米间隙的纳米应力传感器及其制备方法技术

本发明专利技术提供一种基于金属纳米间隙的纳米应力传感器及其制备方法，其中基于金属纳米间隙的纳米应力传感器，包括：由绝缘材料制成的基片和设置于基片上的一对金属薄膜电极，所述金属薄膜电极上引出导线，连接到外部的测量电表，且所述金属薄膜电极之间构造可以形成导电路径的金属纳米结构，金属纳米结构中包含至少一个纳米间隙。本发明专利技术的传感器能快速响应高频的振动信号，能将高频振动信号转变为电学信号，灵敏度高、响应速度快、易于小型化和微型化、稳定性高。本发明专利技术的应力传感器可用于科学实验、生产过程控制和管理、生产质量鉴定、工程诊断和评价等领域。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种基于金属纳米间隙的纳米应力传感器，其特征在于，包括：由绝缘材料制成的基片（1）和设置于基片上的一对金属薄膜电极（2），所述金属薄膜电极（2）上引出导线（4），连接到外部的测量电表（5），且所述金属薄膜电极之间构造可以形成导电路径的金属纳米结构（3），金属纳米结构（3）中包含至少一个纳米间隙。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：谢波，郑蒙阳，陆伟华，
申请(专利权)人：苏州新锐博纳米科技有限公司，
类型：发明
国别省市：