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本发明提供一种基于金属纳米间隙的纳米应力传感器及其制备方法,其中基于金属纳米间隙的纳米应力传感器,包括:由绝缘材料制成的基片和设置于基片上的一对金属薄膜电极,所述金属薄膜电极上引出导线,连接到外部的测量电表,且所述金属薄膜电极之间构造可以形...该专利属于苏州新锐博纳米科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州新锐博纳米科技有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种基于金属纳米间隙的纳米应力传感器及其制备方法,其中基于金属纳米间隙的纳米应力传感器,包括:由绝缘材料制成的基片和设置于基片上的一对金属薄膜电极,所述金属薄膜电极上引出导线,连接到外部的测量电表,且所述金属薄膜电极之间构造可以形...