【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种电镀设备用挡液装置，包括：电镀液母槽（2）；电镀液子槽（4），安装于所述电镀液母槽（2）的上方；其特征在于：还包括：电镀液过渡槽（6），安装于所述电镀液母槽（2）的上方、用于收容从所述电镀液子槽（4）中溢流出来的电镀液；回流管（7），一端与所述电镀液过渡槽（6）相通，另一端竖直向下延伸至所述电镀液母槽（2）内的底部；挡液板（8），安装在所述电镀液过渡槽（6）中，并能够根据所述电镀液过渡槽（6）中的液面高度打开或关闭，在打开时，电镀液能够通过所述回流管（7）回流至所述电镀液母槽（2）中。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：夏品军，
申请(专利权)人：江苏矽研半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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