【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及ー种形成于铝基材的表面的、具有两个以上细孔的阳极氧化铝(多孔质的氧化皮膜)的制造方法、检查方法以及检查装置。本申请主张2010年3月25日在日本提出申请的特愿2010-070279号的优先权，在此引用其全部内容。
技术介绍
表面具有可见光波长以下的间距的微细凹凸结构的物品显现了防反射功能等，因此其有用性受到注目。特别是被称为蛾眼(Moth-Eye)结构的微细凹凸结构，已知其由于从空气的折射率到材料的折射率连续增大从而显现出有效的防反射功能。 作为表面具有微细凹凸结构的物品的制造方法，已知有下述的方法，从生产率和经济性的观点来看，( )的方法优异。(i)直接加工透明基材等的表面而制造表面具有微细凹凸结构的物品的方法。(ii)使用具有对应于微细凹凸结构的反转结构的模具，向透明基材等的表面转印反转结构的方法。作为在模具上形成反转结构的方法，已知电子射线绘制法、和激光干涉法等。近年，作为可更简便地形成反转结构的方法，将铝基材的表面进行阳极氧化的方法受到注目(例如，參照专利文献I)。通过对铝基材的表面进行阳极氧化而形成的阳极氧化铝是铝的氧化皮膜(耐酸铝，al...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.03.25 JP 2010-0702791.一种阳极氧化铝的制造方法，其为制造具有两个以上细孔的阳极氧化铝的方法，其包括 阳极氧化铝形成后由照明单元对阳极氧化铝表面照射光， 用摄像单元拍摄来自所述阳极氧化铝的表面的反射光， 从所述摄像单元拍摄的图像取得色彩信息，以及， 基于所述色彩信息检查所述阳极氧化铝的细孔的形状。2.根据权利要求I所述的阳极氧化铝的制造方法，其中，用摄像单元拍摄来自所述阳极氧化铝的表面的反射光包括 以所述摄像单元的光轴相对于所述阳极氧化铝表面的法线的角度为4519. 9°的方式拍摄。3.根据权利要求I所述的阳极氧化铝的制造方法，其中，用摄像单元拍摄来自所述阳极氧化铝的表面的反射光包括 以所述摄像单元的光轴相对于所述阳极氧化铝表面的法线的角度为6519. 9°的方式拍摄。4.根据权利要求I所述的阳极氧化铝的制造方法，其中，用摄像单元拍摄来自所述阳极氧化铝的表面的反射光包括 以所述摄像单元的光轴相对于所述阳极氧化铝表面的法线的角度为8(Γ89. 9°的方式拍摄。5.根据权利要求I所述的阳极氧化铝的制造方法，其中，基于所述色彩信息检查所述阳极氧化铝的细孔的形状包括 拍摄来自所述阳极氧化铝的表面的反射光作为RGB信号，以及， 基于所述RGB信号的信息检查所述阳极氧化铝的细孔的形状。6.根据权利要求I所述的阳极氧化铝的制造方法，其中，基于所述色彩信息检查所述阳极氧化铝的细孔的形状包括 拍摄来自所述阳极氧化铝的表面的反射光作为RGB信号， 将所述RGB信号转换成HSV颜色空间，以及， 基于所述HSV颜色空间的信息检查所述阳极氧化铝的细孔的形状。7.根据权利要求I所述的阳极氧化铝的制造方法，其中，在所述阳极氧化铝形成后由照明单元对阳极氧化铝表面照射光之前，进一步具有形成所述阳极氧化铝的工序，该工序包括下述工序(a) Ce) (a)在电解液中、恒定电压下对镜面化的铝基材的表面进行阳极氧化，在表面形成氧化皮膜的工序， (b)去除所述氧化皮膜，在所述铝基材的表面形成阳极氧化的细孔产生点的工序， (C)在电解液中、恒定电压下对形成了所述细孔产生点的铝基材的表面再次进行阳极氧化，在表面形成具有细孔的氧化皮膜的工序，其中所述细孔与所述细孔产生点对应， Cd)使所述细孔的孔径扩大的工序， (θ)重复进彳丁所述工序(C)和工序(d)的工序。8.一种阳极氧化铝的检查方法，其为检查具有两个以上的细孔的阳极氧化铝的方法，其包括由照明单元对阳极氧化铝的表面照射光， 用摄像单元拍摄来自所述阳极氧化铝的表面的反射光， 从所述摄像单元拍摄的图像取得色彩信息，以及， 基于所述色彩信息判断所述阳极氧化铝的细孔的纵横比(深度/间距)是否在规定的范围内。9.根据权利要求8所述的阳极氧化铝的检查方法，其中，用摄像单元拍摄来自所述阳极氧化铝的表面的反射光包括 以所述摄像单元的光轴相对于所述阳极氧化铝表面的法线的角度为...
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