镍铝合金基金刚石超薄锯片及其制作方法技术

本发明专利技术涉及一种用于单（多）晶硅、玻璃、陶瓷、宝石加工等行业精密切割的镍铝合金基金刚石超薄锯片及该金刚石超薄锯片的制作方法。其选取纯度在９９．９％以上、５～２０微米的镍粉５０～７０份（指体积分数），９９．８％以上、５～２０微米的铝粉１０～３０份，粒度在５～１０微米的镀钛人造金刚石颗粒２０～３０份，在三维混料机中充分混匀，放入模具内，在四柱液压机上冷压成尺寸为φ２５～２００ｍｍ×１００～４００μｍ的素坯，成型压力为１００～５００ｋｇｆ／ｃｍ↑［２］；再分为二段进行热压烧结，首先在真空热压烧结炉内加热至６７０～７００℃，保温５～６０分钟，然后，继续升温至７５０－８００℃，保温５～６０分钟，热压压力为１００～４００ｋｇｆ／ｃｍ↑［２］；再带压随炉缓慢冷却至２００℃以下，出炉即可得金刚石锯片。本发明专利技术具有高强度、高刚度、高韧性、高致密、寿命长等优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于单(多)晶硅、玻璃、陶瓷、宝石加工等行业精密切割的镍铝合金基金刚石超薄锯片及该金刚石超薄锯片的制作方法。
技术介绍
金刚石具有高硬度、高耐磨性、高抗压强度以及优异的导热性等性能，使其在金属和硬脆材料加工领域有非常广泛的应用，如金刚石锯片、砂轮、钻头等。金属和金刚石复合制造的金刚石超薄锯片主要用于半导体集成电路用硅片、太阳能电池单晶硅片、宝石、人工晶体、信息功能陶瓷等高技术材料的精密切割。为了尽可能减少切口损失，通常要求锯片厚度小于400微米，这对金刚石锯片的力学性能提出了更高要求。首先，金刚石颗粒与胎体金属之间要具有较高的结合强度以获得较高的把持力，这要求金刚石颗粒表层能与胎体金属形成冶金结合，而不是简单的机械结合；其次，胎体金属自身也要有较高的强度、刚度、韧性和致密度；另外，金刚石在700℃开始发生石墨化，900℃以上严重石墨化，这将大大损害金刚石强度。因此，为了防止或减轻金刚石发生石墨化，必须降低烧结温度或缩短烧结时间。 但是目前国内涉及金刚石锯片制造技术主要针对500微米以上的厚金刚石锯片，并且主要是铁基、钴基和铜基金刚石锯片为主，关于400微本文档来自技高网...

【技术保护点】
镍铝合金基金刚石超薄锯片，其特征是以体积分数计，包括纯度在９９．９％以上、５～２０微米的镍粉５０～７０份，９９．８％以上、５～２０微米的铝粉１０～３０份，粒度在５～１０微米的镀钛人造金刚石颗粒２０～３０份。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李海，王芝秀，曹大呼，王强，李坤，
申请(专利权)人：江苏工业学院，
类型：发明
国别省市：32[中国|江苏]