【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种用于气体分析的测量仪器,更具体的说,涉及一种用于测量气体中微量水分,用于分析氮、氧、氦、氩、空气以及六氟化硫等气体的露点测试仪中的光路系统的结构。
技术介绍
随着工业领域对使用的各种高纯气体要求越来越高,气体纯度的分析检测技术也获得更多的重视。对高纯气体来说,其主要杂质以微量水份为主,检测方法通常采用电解法、传感器法和冷镜法。前两种方法主要用于气体纯度测量精度要求不太高的场合。采用冷镜法测量原理的仪器称之为露点仪,所谓露点是指给定空气在水汽压不变的情况下逐渐冷却,在这一过程中,水汽逐渐凝结成露,该凝结温度点称为露点,确切地说 应为热力学露点温度,在这个温度下,空气中的水汽含量恰恰等于该空气达到饱和时的水汽含量,露点温度常常用来表示气体中所含的微量水份。冷镜法测量原理建立在此理论基础上,它具有准确度高,测量范围宽的特点。冷镜露点仪一般可作为二级计量标准来校准由电解法和传感器法制造的气体微量水份测试仪。但由于环境温度以及光源的波动等因素的影响,对测量头镜面是否真实成露造成一定的测量和判断误差。
技术实现思路
为了克服上述现有技术中存在的问题,本技术提供一种冷镜 ...
【技术保护点】
一种冷镜式露点测试仪的光路系统,用于对测量头镜面上的露点状况进行检测,其特征在于,包括:点光源(1),其发出的一部分光线通过挡光螺钉(8)照射到补偿硅光电池(5),另一部分光线通过透镜(2)变成平行光照射到镜面(4)上,平行光在镜面(4)上发生反射通过透镜(3)聚焦到光阑(7)上;当镜面(4)上有露时,射到镜面(4)的平行光发生漫反射,平行光变成发散光通过透镜(3)大部分从光阑(7)漏过,射到工作硅光电池(6)上,工作硅光电池(6)将此光信号传输给所述测试仪中的光路调理电路。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:水浩淼,李祥伟,姚胜卫,
申请(专利权)人:上海电控研究所,
类型:实用新型
国别省市:
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