离焦量测试系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种离焦量测试系统，该离焦量测试系统包括光源、小口径缩束系统、大口径缩束系统、自准元件以及波前测试装置；小口径缩束系统包括分光镜、准直物镜以及准直目镜；分光镜设置在光源的出射光路上；所述准直物镜设置在经分光镜透射后的透射光路上；大口径缩束系统以及自准元件依次设置在经分光镜与准直物镜透射后的透射光路上；透射光依次经过大口径缩束系统以及自准元件后形成自准光；自准光依次经过大口径缩束系统、准直物镜以及分光镜后并由分光镜反射至准直目镜；波前测试装置设置在经准直目镜透射后的透射光路上。本实用新型专利技术提出了一种集成度高、结构紧凑以及自动化程度高的离焦量测试系统。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属光学检测
，涉及一种离焦量测试系统，尤其涉及一种激光光学系统中所用大口径激光缩束系统的离焦量测试系统。
技术介绍
神光III主机装置中，主光路中激光束的传输、整形与取样，采用了多组大口径激光缩束系统，要保证光束通过大口径激光缩束系统后不改变传输激光光束的平行性，大口径激光缩束系统对接时离焦量的控制十分重要。传统的测试方法由激光平行光管产生标准的平面波，将缩束系统置于平行光管 的光路出口处，激光束经过缩束系统缩束后，由波前测试装置测试缩束系统的离焦量。这种方法需要一个标准平行光管，对于大口径激光缩束系统，需要一个口径比其更大、波前质量更高的激光平行光管。研制大口径高质量激光平行光管，造价十分昂贵，经济性差。
技术实现思路
为了解决
技术介绍
中存在的上述问题，本技术提出了一种集成度高、结构紧凑以及自动化程度高的离焦量测试系统。本技术的技术解决方案是本技术提供了一种离焦量测试系统，其特殊之处在于所述离焦量测试系统包括光源、小口径缩束系统、大口径缩束系统、自准元件以及波前测试装置；所述小口径缩束系统包括分光镜、准直物镜以及准直目镜；所述分光镜设置在光源的出射光路上；所述准直物镜设置在经本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种离焦量测试系统，其特征在于：所述离焦量测试系统包括光源、小口径缩束系统、大口径缩束系统、自准元件以及波前测试装置；所述小口径缩束系统包括分光镜、准直物镜以及准直目镜；所述分光镜设置在光源的出射光路上；所述准直物镜设置在经分光镜透射后的透射光路上；所述大口径缩束系统以及自准元件依次设置在经分光镜与准直物镜透射后的透射光路上；所述透射光依次经过大口径缩束系统以及自准元件后形成自准光；所述自准光依次经过大口径缩束系统、准直物镜以及分光镜后并由分光镜反射至准直目镜；所述波前测试装置设置在经准直目镜透射后的透射光路上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈永权，段亚轩，赵建科，赛建刚，李坤，张洁，胡丹丹，
申请(专利权)人：中国科学院西安光学精密机械研究所，
类型：实用新型
国别省市：