下载离焦量测试系统的技术资料

文档序号:8288376

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本实用新型涉及一种离焦量测试系统,该离焦量测试系统包括光源、小口径缩束系统、大口径缩束系统、自准元件以及波前测试装置;小口径缩束系统包括分光镜、准直物镜以及准直目镜;分光镜设置在光源的出射光路上;所述准直物镜设置在经分光镜透射后的透射光路上...
该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院西安光学精密机械研究所授权不得商用。

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