一种真空除气系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种真空除气系统，包括油扩散泵、抽真空机组、真空维持泵、真空挡板阀一、真空挡板阀二和真空主管道，油扩散泵的上端通过真空挡板阀二与真空主管道连接，真空维持泵与油扩散泵通过管道连接，抽真空机组通过真空挡板阀一与真空主管道连接。采用本实用新型专利技术的真空除气系统除气后的低温绝热瓶的夹层真空度可达5×10-4Pa，远远高出同类产品性能指标5.0×10-2Pa的两个数量级，大大的提高了低温绝热瓶的安全性能。真空主管道中的液氮管路在抽真空过程可将管道残余气体冷冻吸附从而提高真空度。将真空主管道内壁进行镜面抛光0.2Ra以下，降低管道内壁吸附气体的能力，从而提高抽气速率。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种真空除气系统，其特征在于，包括油扩散泵、抽真空机组、真空维持泵、真空挡板阀一、真空挡板阀二和真空主管道，油扩散泵的上端通过真空挡板阀二与真空主管道连接，真空维持泵与油扩散泵通过管道连接，抽真空机组通过真空挡板阀一与真空主管道连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘伯均，
申请(专利权)人：北京和华腾真空泵压缩机有限公司，
类型：实用新型
国别省市：