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本实用新型公开了一种真空除气系统,包括油扩散泵、抽真空机组、真空维持泵、真空挡板阀一、真空挡板阀二和真空主管道,油扩散泵的上端通过真空挡板阀二与真空主管道连接,真空维持泵与油扩散泵通过管道连接,抽真空机组通过真空挡板阀一与真空主管道连接。采...该专利属于北京和华腾真空泵压缩机有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京和华腾真空泵压缩机有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种真空除气系统,包括油扩散泵、抽真空机组、真空维持泵、真空挡板阀一、真空挡板阀二和真空主管道,油扩散泵的上端通过真空挡板阀二与真空主管道连接,真空维持泵与油扩散泵通过管道连接,抽真空机组通过真空挡板阀一与真空主管道连接。采...