【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种设置于超纯水的制造装置中的子系统。
技术介绍
在半导体制造工艺等中，在从一次纯水制造超纯水的子系统中，采用了去除溶入纯水中的气体的脱气装置、降解有机物的UV装置、去除离子性物质的连续电再生除盐装置或离子交换树脂装置、去除微粒子的膜(MF或UF)装置。作为从如此操作所制造的超纯水中进一步去除微量存在的杂质(特别是金属离子)的纯水处理装置，可采用褶式离子交换过滤器或者离子交换树脂塔。该褶式离子交换过滤器，是将无纺布或多孔膜等平板膜设成褶式而成的离子交换过滤器。褶式离子交换过滤器，具有压力损失小的特征，而另一方面，由于膜厚薄而漏泄发生快，存在寿命短的问题 (专利文献I)。另一方面，对填充有离子交换树脂(粒径约50 μ m)的离子交换树脂塔而言，存在压力损失大的问题。若纯水处理装置的压力损失大，则在使用地点的抵达压力降低，因此需要使用升压泵。现有技术文献专利文献I :日本特开2004-73924号
技术实现思路
本技术的目的在于，提供一种在UF膜装置(超滤膜装置)的后级中具有压力损失低的吸附装置的超纯水制造用子系统。本技术的技术方案I的超纯水制造用子系统，其是从一...
【技术保护点】
一种超纯水制造用子系统，其是从一次纯水制造超纯水的子系统，其至少包括UV装置、脱气装置、离子交换树脂装置以及UF膜装置，其特征在于，在该UF膜装置的后级中，具有填充了粒径为1～3mm的粒状吸附体的吸附装置；通过来自该UF膜装置的流出水压，能够在不使用升压泵的情况下向该吸附装置中通水。
【技术特征摘要】
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