温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供一种在UF膜装置即超滤膜装置的后级中具有压力损失低的吸附装置的超纯水制造用子系统。一种超纯水制造用子系统，其是从一次纯水制造超纯水的子系统(3)，其中，至少包括UV装置(13)、脱气装置(15)、离子交换树脂装置(16)和UF...
该专利属于栗田工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过栗田工业株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。