氧化锌烧结体料片及其制造方法技术

本发明专利技术提供一种氧化锌烧结体料片，其能够在真空蒸镀成膜中抑制飞溅现象的发生，且能够稳定地获得没有针孔缺陷的透明导电膜。通过针对环状二级粒子的比率为50%以上且由氧化锌粉末或者由氧化锌与掺杂剂的混合粉末构成的造粒粉末进行加压成型，并在常压下以800℃～1300℃的温度使其烧结，进而在压力为1×10-3Pa以下的真空中以800℃～1300℃的温度保持1分钟以上且10分钟以下的时间以进行还原处理，由此获得具有六方晶系晶体结构，并且将基于采用CuKα射线的X射线衍射的（103）面、（110）面的积分强度分别作为I(103)、I(110)时，由I(103)/(I(103)＋I(110))表示的单轴加压面的取向度为0.48以上的氧化锌烧结体料片。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种在采用真空蒸镀法制造氧化物透明导电膜时作为蒸发源使用的氧化锌烧结体料片，以及用于获得该氧化锌烧结体料片的制造方法。
技术介绍
氧化物透明导电膜具有高导电性和在可见光区域中的高透过率。因此，氧化物透明导电膜不仅应用于太阳能电池、液晶显示元件、其它各种光接收元件的电极等方面，而且还发挥其在近红外线区域波长下的反射吸收特性而作为汽车和建筑物的窗玻璃等中使用的热射线反射膜、或者作为各种抗静电膜、冷冻陈列柜等的防雾用的透明发热体来加以利用。 在氧化物透明导电膜中，使用了含有铝、镓作为掺杂剂的氧化锌(ZnO )、含有锑、氟作为掺杂剂的氧化锡(SnO2)、含有锡作为掺杂剂的氧化铟(In2O3)等。尤其是含有锡作为掺杂剂的氧化铟膜，也被称作ITO (Indium Tin Oxide)膜，由于其特别容易获得低电阻的透明导电膜而被广泛应用。作为制造这些氧化物透明导电膜的方法，可采用如下方法在真空中加热蒸发源并使蒸发的原料沉积在基板上的真空蒸镀法；使氩离子冲击靶而碰撞出构成靶的物质，并使其沉积在对置的基板上的溅射法；涂布透明导电层形成用涂液的方法。在这些方法中，真空蒸镀法和溅射法是在使本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾我部健太郎，
申请(专利权)人：住友金属矿山株式会社，
类型：
国别省市：