一种提高大功率激光二极管列阵输出光束质量的装置及其方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种提高大功率激光二极管列阵输出光束质量的装置。它是在同一光轴上依次垂直放置激光二极管列阵、快轴准直透镜和体全息布拉格光栅；快轴准直透镜与激光二极管列阵前端面之间的距离L1=f，f为快轴准直透镜的焦距，体全息布拉格光栅与激光二极管列阵前端面之间的距离，体全息布拉格光栅的光栅波矢与光轴之间的夹角α=λ/(2d)，λ为输出激光波长，d为激光二极管列阵发光单元周期，激光器二极管列阵前端面镀有反射率小于0.5%的反射膜，激光器二极管列阵后端面镀有反射率大于99.5%的反射膜。本发明专利技术使得激光二极管列阵输出光束质量大幅提高，输出波长稳定，相干性好，同时具有较大的相位锁定工作范围，获得高功率输出。

【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种提高大功率激光二极管列阵输出光束质量的装置及其方法。
技术介绍
高功率激光器二极管列阵(LD bars )以其优越的性能逐渐取代了闪光灯成为固体激光的主要泵浦源，但是也由于横向多模振荡所造成的光束质量较差，同时输出光束谱线较宽，使其应用受到很大的限制。利用外腔进行反馈是改善高功率激光器二极管列阵输出光束质量的一种有效手段，理论上可以获得近衍射极限输出的光束。利用外腔对高功率激光器二极管列阵进行反馈，根据应用需求的不同主要可以分为两种技术形式，一种是以改善输出光束的光束质量为目的，通过锁定各个发光单元的相位，获得同相的模式输出，这种比较多的使用泰伯腔(Talbot cavity)的形式,反馈元件一般使用平面镜；第二种是以改善输出光谱特性为目的，反馈元件一般使用体全息布拉格光栅，不仅可以获得窄线宽的光谱输出，还可以使输出谱线的稳定性提高，极大地方便了后续的应用。上述的第二种方式技术上已经比较成熟，但是第一种方式目前还存在一些问题，目前报道的结果虽然可以较好的光束质量输出，但是输出功率都比较小，主要问题是随着输出功率的增加，各个发光单元之间的相位锁定变得更加困难，最终导致相位完本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种提高大功率激光二极管列阵输出光束质量的装置，其特征在于在同一光轴上依次垂直放置激光二极管列阵（1）、快轴准直透镜（2）和体全息布拉格光栅（3）；快轴准直透镜（2）与激光二极管列阵（1）前端面之间的距离L1=f，f为快轴准直透镜（2）的焦距，体全息布拉格光栅（3）与激光二极管列阵（1）前端面之间的距离？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？，体全息布拉格光栅（3）的光栅波矢与光轴之间的夹角α？=？λ？/(2d)，λ为输出激光波长，d为激光二极管列阵发光单元周期，激光器二极管列阵（1）前端面镀有反射率小于0.5%的反射膜，激光器二极管列阵...

【技术特征摘要】
1.一种提高大功率激光二极管列阵输出光束质量的装置，其特征在于在同一光轴上依次垂直放置激光二极管列阵(I)、快轴准直透镜(2)和体全息布拉格光栅(3);快轴准直透镜(2)与激光二极管列阵(I)前端面之间的距离L1=L f为快轴准直透镜(2)的焦距，体全息布拉格光栅(3)与激光二极管列阵(I)前端面之间的距离L2 = (12/(2λ),体全息布拉格光栅(3)的光栅波矢与光轴之间的夹角α = λ /(2d)，λ为输出激光波长，d为激光二极管列阵发光单元周期，激光器二极管列阵(I)前端面镀有反射率小于O. 5%的反射膜，激光器二极管列阵(I)后端面镀有反射率大于99. 5%的反射膜。2.如权利要求I所述的一种提高大功率激光二极管列阵输出光束质量的装置，其特征在于所述的反射膜的材料为氧化锆或氧化硅。3.如权利要求I所述的一种提高大功率激光二极管列阵输出光束质量的装置，其特征在于所述的激光器二极管列阵(I)的输出功率为5W 300W,发光单兀数为9个 99个,发光单元周期为10// m 500// m。4.如权利要求I所述的一种提高大功率激光二极管列阵输出光束质量的装置，其特征在于所述的快轴准直透镜(2)为平凸柱面透镜，两端面镀有反射率小于O. 5%的减反射膜， 快轴准直透镜(2)的焦距为O. 05mm 5mm。5.如...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘崇，亓云轩，葛剑虹，项震，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：