【技术实现步骤摘要】
本文中公开的本专利技术涉及衬底处理装置，更详细地说，涉及在平面显示面板上执行工艺的装置。
技术介绍
在制造平板显示器的各种工艺中，一些工艺是在平面显示面板(此后被称为“衬底”)被放置在称作花岗岩平台的支撑板上的状态下执行的。通过使沿着支撑板中形成的上升/下降孔而上升或下降的针上升/下降，可将衬底装载在支撑板上或从支撑板卸下。当执行涉及衬底的工艺时，在衬底和支撑板之间产生静电。这里，静电在衬底和支撑板之间起吸引力作用。如果在出现静电的状态下通过使针上升/下降而强行卸下衬底，·会发生衬底在瞬间跳动的现象。这种现象可导致衬底的损坏。
技术实现思路
本专利技术提供能防止衬底损坏的用于处理衬底的装置。本专利技术的实施例提供用于处理衬底的装置，该装置包括用以支撑衬底的支撑板，支撑板中具有多个孔；供给线路，用以通过孔向衬底的下表面供气；以及离子产生器，其安装在供给线路中以电离通过供给线路供应的气体。在一些实施例中，该装置还进一步包括真空压力施加单元，其向孔施加真空压力；以及控制单元，其控制离子产生器和真空压力施加单元，以使得在向孔施加真空压力之后，被电离的气体被提供至孔。在其他实施例中,...
【技术保护点】
一种衬底处理装置，该装置包括：支撑衬底的支撑板，所述支撑板中具有多个孔；供给线路，用以通过所述孔向所述衬底的下表面供气；以及离子产生器，其被安装在所述供给线路中以电离通过所述供给线路提供的气体。
【技术特征摘要】
2011.07.29 KR 10-2011-0075768;2011.10.13 KR 10-201.一种衬底处理装置，该装置包括 支撑衬底的支撑板，所述支撑板中具有多个孔； 供给线路，用以通过所述孔向所述衬底的下表面供气；以及 离子产生器，其被安装在所述供给线路中以电离通过所述供给线路提供的气体。2.根据权利要求I所述的装置，进一步包括 真空压力施加单元，其向所述孔施加真空压力；以及 控制单元，其控制所述离子产生器和所...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。