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所提供的是用于处理衬底的装置。该衬底处理装置包括：支撑衬底的支撑板，该支撑板中具有多个孔；供给线路，其通过孔向衬底下表面供应气体；以及安装在供给线路中以电离通过供给线路供应的气体的离子发生器。...
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