一种触摸传感器的制作方法技术

本发明专利技术提供一种触摸传感器的制作方法，所述方法包括以下步骤：S11、在ITO-Cu膜上形成一层耐酸油墨，该耐酸油墨覆盖预留的传感器Cu线区；S12、将形成有耐酸油墨的ITO-Cu膜通过氯化铁溶液，蚀刻掉未被耐酸油墨覆盖的Cu区；S13、通过碱性溶液将耐酸油墨脱膜处理，并清洗；S14、在经过步骤S13处理后的ITO-Cu膜上形成一层保护胶，该保护胶覆盖触摸传感器的可视区；S15、采用激光干刻仪蚀刻传感器Cu线区中多余的Cu、以及该多余的Cu所覆盖的ITO，以形成Cu膜走线；S16、去除所述保护胶，采用激光干刻仪蚀刻传感器可视区内的ITO，以形成ITO图案走线。本发明专利技术提供的制作方法中，采用激光干刻法制作Cu膜走线和ITO图案走线，实现了TPSensor窄边的设计要求，可在窄边制作线宽较小的走线。

【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于触摸领域，尤其涉及一种触摸传感器的制作方法。
技术介绍
在现有触摸屏的结构中，触摸传感器(TP Sensor)的制作一般是白光制程采用丝印工艺，具体地先在具有铟锡氧化物(ITO)的膜上丝印耐酸油墨，将需要的ITO部分用耐酸油墨保护起来，然后通过酸性的溶液将不需要的ITO蚀刻掉，接着通过碱性溶液脱去耐酸油墨，最后在TP Sensor的周边缘丝印银浆走线，从而与蚀刻后的ITO部分进行电连接；其中，所述丝印银浆走线的线宽一般在100微米左右。但是,现有触摸屏的结构已趋向于全屏，TP Sensor的结构也趋向于窄边设计,从而留给银浆走线的边框越来越少，所以银浆走线的线宽也越来越小，如果银浆走线的线宽 小于50微米，想要通过丝印的方式来完成银浆走线的制作已无法实现。因此，白光制程的丝印工艺已跟不上时代的步伐，亟需一种新的制作工艺来满足窄边走线的形成。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种触摸传感器的制作方法，实现了 TP Sensor窄边的设计要求，可以在TP Sensor的窄边制作线宽较小的走线，降低制作难度，节省了成本。本专利技术的目的是通过以下技术方案实现的 一种触摸传感器的制作方法，所述方法包括以下步骤 511、在ITO-Cu膜上形成一层耐酸油墨，该耐酸油墨覆盖预留的传感器Cu线区； 512、将形成有耐酸油墨的ITO-Cu膜通过氯化铁溶液，蚀刻掉未被耐酸油墨覆盖的Cu区； 513、通过碱性溶液将耐酸油墨脱膜处理，并清洗； 514、在经过步骤S13处理后的ITO-Cu膜上形成一层保护胶，该保护胶覆盖触摸传感器的可视区； 515、采用激光干刻仪蚀刻传感器Cu线区中多余的Cu、以及该多余的Cu所覆盖的ΙΤ0，以形成Cu膜走线； 516、去除所述保护胶，采用激光干刻仪蚀刻传感器可视区内的ΙΤ0，以形成ITO图案走线。本专利技术提供的触摸传感器的制作方法，先在ITO-Cu膜上将除预留的传感器Cu线区蚀刻掉，然后在传感器的可视区形成保护胶，接着采用激光干刻仪刻蚀Cu线区和ITO图案区，以形成Cu膜走线和ITO图案走线。本专利技术提供的制作方法中，采用激光干刻法制作Cu膜走线和ITO图案走线，实现了 TP Sensor窄边的设计要求,可以在TP Sensor的窄边制作线宽较小(小于50微米)的走线，降低制作难度，节省了成本。附图说明图I是本专利技术实施例提供的触摸传感器制作方法的流程示意图。图2是本专利技术实施例提供的上线触摸传感器的走线结构示意图。图3是本专利技术实施例提供的下线触摸传感器的走线结构示意图。具体实施例方式为了使本专利技术所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。请参考图I所示，一种触摸传感器的制作方法，所述方法包括以下步骤 511、在ITO-Cu膜上形成一层耐酸油墨，该耐酸油墨覆盖预留的传感器Cu线区； 512、将形成有耐酸油墨的ITO-Cu膜通过氯化铁溶液，蚀刻掉未被耐酸油墨覆盖的Cu区； 513、通过碱性溶液将耐酸油墨脱膜处理，并清洗； 514、在经过步骤S13处理后的ITO-Cu膜上形成一层保护胶，该保护胶覆盖触摸传感器的可视区； 515、采用激光干刻仪蚀刻传感器Cu线区中多余的Cu、以及该多余的Cu所覆盖的ΙΤ0，以形成Cu膜走线； 516、去除所述保护胶，采用激光干刻仪蚀刻传感器可视区内的ΙΤ0，以形成ITO图案走线。本专利技术提供的触摸传感器的制作方法，先在ITO-Cu膜上将除预留的传感器Cu线区蚀刻掉，然后在传感器的可视区形成保护胶，接着采用激光干刻仪刻蚀Cu线区和ITO图案区，以形成Cu膜走线和ITO图案走线。本专利技术提供的制作方法中，采用激光干刻法制作Cu膜走线和ITO图案走线，实现了 TP Sensor窄边的设计要求,可以在TP Sensor的窄边制作线宽较小(小于50微米)的走线，降低制作难度，节省了成本。作为具体的实施方式，所述步骤Sll具体为，在ITO-Cu膜(是一种在氧化铟锡表面整面镀铜的膜)上丝印一层8-12微米厚的耐酸油墨，覆盖预留的传感器Cu线区，并经过光积量为700-900mj/cm2的紫外光固化，具体固化时可在紫外固化机中进行；所述耐酸油墨具体可选用台湾祥太科技公司提供的型号为ER-110B的油墨。其中，所述耐酸油墨的厚度为8-12微米，可以防止后续制作步骤中过蚀或蚀刻不净，同时，耐酸油墨的图案边缘要平整；当然，本领域的技术人员应当明白，所述耐酸油墨的厚度并不局限于此，可以根据实际的制作工艺进行相应调整，只要能够保证未被耐酸油墨覆盖的Cu层被有效蚀刻即可。作为具体的实施方式，所述步骤S12具体为，将形成有耐酸油墨的ITO-Cu膜通过质量百分比为1%_5%氯化铁溶液喷淋，蚀刻掉未被耐酸油墨覆盖的Cu线区域，其氯化铁溶液对ITO层的影响很小；进一步，所述喷淋的时间为50-60秒，压力为O. 2-0. 3MPa。当然，对所述蚀刻液/喷淋液的具体要求并不局限于此，只要保证不与ITO反应、而只与Cu反应即可，最好是PH值大于6. 5而小于7的溶液；同时，所述喷淋的条件也可以根据制作工艺的实际需要，进行相应的调整，只要能够保证有效蚀刻即可。作为具体的实施方式，在所述步骤S12之后，进一步包括用纯水清洗蚀刻后的ITO-Cu膜，并用风刀吹干，所述风刀的压力为O. 2-0. 3MPa，以有效去除清洗后ITO-Cu膜上的水。较佳地，还可用方阻测试仪测量被蚀刻区域内ITO的方阻，与膜材产品中介绍的ITO方阻对比，以评估蚀刻的效果。作为具体的实施方式，所述步骤S13具体为，将风干后的ITO-Cu膜通过氢氧化钠溶液喷淋去除耐酸油墨，所述氢氧化钠溶液的摩尔浓度为7. 5-8. 5mol/L，喷淋持续的时间为50-60秒，喷淋的压力为O. 2-0. 3MPa ;其中，所述碱性溶液并不局限于氢氧化钠，也可以为氢氧化钾等其它的硬性溶液，所述喷淋的时间和压力也可以根据制作的实际工艺来进行调整，只要能够将耐酸油墨有效去除即可。进一步，也可用纯水清洗脱膜后的ITO-Cu膜，并用风刀吹干，所述风刀的压力为O. 2-0. 3MPa，以有效去除清洗后ITO-Cu膜上的水。至此，可以观察并测量ITO-Cu膜材上Cu线区域的蚀刻尺寸，评估蚀刻效果，氯化铁溶液一般会出现侧蚀现象，只要侧蚀的尺寸不超过5微米就行。作为具体的实施方式，所述步骤S14具体为，在经过步骤S13处理后的ITO-Cu膜上形成一层保护胶，该保护胶覆盖触摸传感器的可视区(该区域步骤Sll中所述预留的传感器Cu线区〃互补，两者加起来刚好构成一个整面)，避免可视区内的ITO被划伤或脏污，保 护胶的材料要求具有热固化性，且容易剥离，并不易留下胶痕。作为一种具体地的实施例，在ITO-Cu膜上丝印一层可剥离保护蓝胶，所述可剥离保护蓝胶的厚度为30-50微米，由此保护Sensor的可视区。作为具体的实施方式，所述步骤S15具体为，设计Cu线区域的激光干刻走线图案，根据该走线图案，采用激光干刻仪蚀刻掉多余的Cu，具体为1、先打开激光器下方的水冷机电源，水冷机的标准温度为18. 7-19. 3°C，水冷系统打开后等待约20分钟，待水本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种触摸传感器的制作方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：S11、在ITO？Cu膜上形成一层耐酸油墨，该耐酸油墨覆盖预留的传感器Cu线区；S12、将形成有耐酸油墨的ITO？Cu膜通过氯化铁溶液，蚀刻掉未被耐酸油墨覆盖的Cu区；S13、通过碱性溶液将耐酸油墨脱膜处理，并清洗；S14、在经过步骤S13处理后的ITO？Cu膜上形成一层保护胶，该保护胶覆盖触摸传感器的可视区；S15、采用激光干刻仪蚀刻传感器Cu线区中多余的Cu、以及该多余的Cu所覆盖的ITO，以形成Cu膜走线；S16、去除所述保护胶，采用激光干刻仪蚀刻传感器可视区内的ITO，以形成ITO图案走线。

【技术特征摘要】
1.一种触摸传感器的制作方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤 511、在ITO-Cu膜上形成一层耐酸油墨，该耐酸油墨覆盖预留的传感器Cu线区； 512、将形成有耐酸油墨的ITO-Cu膜通过氯化铁溶液，蚀刻掉未被耐酸油墨覆盖的Cu区； 513、通过碱性溶液将耐酸油墨脱膜处理，并清洗； 514、在经过步骤S13处理后的ITO-Cu膜上形成一层保护胶，该保护胶覆盖触摸传感器的可视区； 515、采用激光干刻仪蚀刻传感器Cu线区中多余的Cu、以及该多余的Cu所覆盖的ΙΤ0，以形成Cu膜走线； 516、去除所述保护胶，采用激光干刻仪蚀刻传感器可视区内的ΙΤ0，以形成ITO图案走线。2.根据权利要求I所述的触摸传感器的制作方法，其特征在于，所述步骤Sll具体为，在ITO-Cu膜上丝印一层8-12微米厚的耐酸油墨，并经紫外光固化。3.根据权利要求I所述的触摸传感器的制作方法，其特征在于，所述步骤S12具体为，将形成有耐酸油墨的ITO-Cu膜通过质量百分比为1%_5%氯化铁溶液喷淋。4.根据权利要求3所述的触摸传感器的制作方法，其特征在于，所述喷淋的时间为50-60 秒，压力为 O. 2-0. 3MPa。5.根据权利要求I所...

【专利技术属性】
技术研发人员：步欢欢，
申请(专利权)人：比亚迪股份有限公司，
类型：发明
国别省市：