照明模块的移动装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种照明模块的移动装置，包括底座、第一限位块、第二限位块、承载板、气缸和旋转单元。第一限位块和第二限位块分别固定于底座上。承载板靠在第一限位块上。旋转单元承载并转动承载板。气缸连接旋转单元，用以沿Z向驱动旋转单元。当气缸沿+Z向驱动旋转单元至固定距离时，旋转单元转动承载板，使承载板靠在第二限位块上。本发明专利技术提出的照明模块的移动装置，能够快速提升、旋转照明顶部模块，并具有较高的重复定位精度。

【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种移动装置，且特别涉及一种光刻机照明模块的移动装置。
技术介绍
在步进或扫描式光刻 机中，由于照明模块一般在掩模台之上，并且垂向相隔空间狭小，如果需要对掩模台进行维护、维修，如对掩模台的承版台擦拭、清洗，对驱动电机及气缸进行维护、维修、更换安装等，须首先将掩模台上部的照明模块、对准模块移开，露出掩模台维护、维修部位，待维护或维修工作结束后再将照明模块恢复原位。因此，照明模块的移入移出需要保证足够的重复定位精度，以保证快速恢复整机工作。目前技术中用于光刻机照明顶部模块的安装维护机构所涉及的升降装置，是通过电机驱动，齿形轮-皮带、蜗轮-蜗杆、丝杠-螺母传动，通过4个调节装置与照明模块连接，将照明提升400 600mm的高度，从而对掩模进行维护、维修工作。其缺点是I.结构复杂、传动链长、效率低；2.连接刚性低、可靠性低；3.占用闻度空间大。
技术实现思路
本专利技术提出一种照明模块的移动装置，快速提升旋转照明顶部模块，并具有较高的重复定位精度，能够解决上述问题。为了达到上述目的，本专利技术提出一种照明模块的移动装置，包括底座；第一限位块和第二限位块，分别固定于底座上；承载板，靠在第一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种照明模块的移动装置，其特征是，包括：底座；第一限位块和第二限位块，分别固定于所述底座上；承载板，靠在所述第一限位块上；旋转单元，承载并转动所述承载板；以及气缸，连接所述旋转单元，用以沿Z向驱动所述旋转单元，当所述气缸沿+Z向驱动所述旋转单元至固定距离时，所述旋转单元转动所述承载板，使所述承载板靠在所述第二限位块上。

【技术特征摘要】
1.一种照明模块的移动装置，其特征是，包括 底座； 第一限位块和第二限位块，分别固定于所述底座上； 承载板，靠在所述第一限位块上； 旋转单元，承载并转动所述承载板；以及 气缸，连接所述旋转单元，用以沿Z向驱动所述旋转单元， 当所述气缸沿+Z向驱动所述旋转单元至固定距离时，所述旋转单元转动所述承载板，使所述承载板靠在所述第二限位块上。2.根据权利要求I所述的移动装置，其特征是，所述旋转单元包括 旋转轴，紧固连接于所述承载板； 轴承，连接于所述气缸，所述旋转轴可转动地设置于所述轴承内。3.根据权利要求I所述的移动装置，其特征是，所述轴承为轴向或径向圆柱滚子轴承，所述旋转轴固定于所述轴承的内圈，所述轴承的外圈固定连接有第一轴承座，所述第一轴承座连接于所述底座。4.根据权利要求I所述的移动装置，其特征是，还包括 导向模块，包括滚珠导套和导向轴，所述导向轴固定在所述底座上，所述滚珠导套固定在所述旋转单元上，所述滚珠导套沿Z向可移动地套在所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄静莉，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：