干燥装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种粉尘等不会落下并附着于在工件上、能够防止工件上方的扬尘并使装置小型化的干燥装置，该工件保持于悬挂件上并以非接触的方式在干燥室内输送的期间被进行双面干燥。该干燥装置具有：悬挂件输送部（7），其使保持着工件（W）的悬挂件（H）保持在悬挂件插入部（8a）上并在干燥室（2）内以立起姿势沿链转动方向输送悬挂件（H），该悬挂件插入部（8a）隔开规定间隔地设于在供干燥风循环的干燥室（2）内转动的环状带链（8）上；悬挂件返回部（10），其从被悬挂件输送部（7）输送的悬挂件（H）上分离工件（W）并向下游侧送出，并且使与该工件（W）分离的悬挂件（H）准备保持下一个工件向工件输送方向上游侧送回。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种在例如当在印刷电路基板的制造工序中进行曝光和显影或在印刷时对涂敷于基板双面的保护层等进行加热和干燥的工序中使用的基板等的干燥装置。
技术介绍
作为进行基板干燥的旋转栅式(wicket)干燥装置,实际应用有图8所示的干燥装置60。该干燥装置60在干燥室61内由链条等构成的环形轨道62上隔开规定间隔地固定有多个作为工件W的保持构件的工件支承框63。 工件W在沿水平方向插入并支承于工件支承框63之间，在工件W保持于在环形轨道62的上表面上立起的工件支承框63之间的状态下，在干燥室61内以使工件W曝露于热风中的状态输送工件W的期间对工件W进行干燥(参照专利文献I、图6)。另外，为了以非接触的方式使例如在基板双面涂敷有抗蚀剂等的工件双面干燥，也实际应用有一种在干燥室内在将工件悬挂在悬挂件上的状态下输送工件的装置。例如，该装置具有载置部及输送用工作部，该载置部沿干燥室的长度方向配置，在多个悬挂件保持着工件的状态下，隔开规定间隔地呈一列载置工件；该输送用工作部为了载置多个悬挂件并向输送方向断续地输送悬挂件，该输送用工作部依次进行为了载置着悬挂件的上升移动、载置着悬挂件向输送方向本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种干燥装置，在薄板状的工件保持在悬挂件上的状态下以非接触的方式在干燥室内输送期间，该干燥装置按照规定的温度曲线依次进行工件双面的干燥，其特征在于，该干燥装置具有：悬挂件输送部，其使保持上述工件的悬挂件依次保持在悬挂件保持部上并在上述干燥室内以立起姿势沿环状带链转动方向输送该悬挂件，该悬挂件保持部隔开规定间隔地设于在供干燥风循环的干燥室内转动的上述环状带链上；悬挂件返回部，其从被上述悬挂件输送部输送来的上述悬挂件上分离出上述工件并将工件向下游侧送出，并且为了使与该工件分离的上述悬挂件准备保持下一个工件而将其向工件输送方向上游侧送回。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤洋治，
申请(专利权)人：株式会社玛库斯特库，
类型：发明
国别省市：