含氟废液的回收处理方法及其设备技术

本发明专利技术提供了一种含氟废液的回收处理方法及其设备。所述的方法包括下列步骤：首先，在一含氟废液中加入一碱性溶剂，以形成一碱性废液；接着，利用一逆渗透膜将碱性废液分离为一高浓度废液以及一低浓度废液；然后，再将高浓度废液分离为一含阴离子废液以及一含阳离子废液，以回收含阴离子废液。本发明专利技术还提供一种含氟废液的回收处理设备，其中形成于一酸碱值调整槽中的碱性废液经由逆渗透膜分离为高浓度废液以及低浓度废液之后，其中的高浓度废液会再于一解离槽中分离为含阴离子废液以及含阳离子废液，之后，再将含阴离子废液回收于一回收槽中。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是有关于一种废液(waste liquid)的回收处理方法及其设备，且特别是有关于一种含氟(fluorine)废液的回收处理方法及其设备。
技术介绍
随着气候变迁日益剧烈，全球各地发生涝灾与旱灾的机率也逐渐升高，进而导致越来越不容易有效地保存与利用人类生存所不可或缺的干净水资源。更重要的是，全球人口数量急速成长与工业科技的迅速发展，导致人类对于环境污染日益严重，更使得水资源的保存与利用问题越来越恶化。因此，如何能够有效地回收工业废水(industrial wastewater)中的污染物质，以降低污染物质对于环境的污染，已逐渐成为世界各国政府亟待解决的问题之一。 举例来说，在半导体产业中，氟化氢(hydrofluoric acid，化学式为HF，俗称氢氟酸)因具有能够溶解硅晶圆(silicon wafer)的特性，因此经常会被用来对硅晶圆进行浸蚀、清洗与刻划标记等工艺。然而，若未能有效回收上述工艺废水中的氟化物，则排放至环境中的工艺废水将会对环境造成污染。特别是工艺废水中的氟化物若是在动植物体内持续累积，不仅可能会使植物生长受阻与农作物产量减少，更可能会影响动物体内对于钙本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种含氟废液的回收处理方法，其特征在于，该方法包括：在一含氟废液中加入一碱性溶剂，以形成一碱性废液；利用一逆渗透膜将所述碱性废液分离为一高浓度废液以及一低浓度废液；以及将所述高浓度废液分离为一含阴离子废液以及一含阳离子废液，以回收所述含阴离子废液。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈国益，曹逸昌，陈镜廉，
申请(专利权)人：兆联实业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：