微纳米级仿生多自由度驱动装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种微纳米级仿生多自由度驱动装置，属于精密超精密加工领域。主要由定子、转子和输出轴组成。其中转子中连接有旋转驱动机构和直线驱动机构；输出轴为可变式接口转轴。本实用新型专利技术以高精度的压电驱动器驱动柔性铰链结构进行相关箝位，通过控制转子上层和下层中的压电钳位机构和连接在下层上的压电驱动机构来实现转子绕固定轴的步进式超精密旋转运动：同时通过控制连接在转子上下层的柔性铰链机构来实现沿确定方向的直线式步进移动。本实用新型专利技术可用于高精度驱动和加工领域，投资少、成本低、见效快、效益高。可以绕确定方向的超精密步进式旋转运动和沿确定方向的直线步进式移动。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及精密超精密加工领域，特别涉及一种微纳米级仿生多自由度驱动装置。可以应用于超精密加工机床、材料试件纳米力学性能检测、半导体制造、精密超精密微细加工与测量技术、现代医学与生物遗传工程、微机电系统(MEMS)、精密光学、航空航天、机器人、军事技术等高尖端的科学

技术介绍
现代科学技术的发展使人类的研究领域扩展到微观世界，对精密定位、微小位移的要求越来越高，尤其是在精密超精密微细加工与测量技术、微机电系统(MEMS)、纳米科技、半导体制造、现代医学与生物遗传工程、航空航天科技、军事技术等高尖端的科学
中，精密定位、微小位移显得格外重要。传统的驱动装置，如普通电机、丝杠螺母、涡轮蜗杆等宏观大尺寸驱动装置已不能满足其精度要求。因此，各国的科研人员倾力于研究性 能更优越的新型高精度驱动装置。压电陶瓷致动器具有体积小、位移分辨率高、频率响应高、无噪声、发热少、输出力大、换能效率高等优点，正在被越来越多地应用到微定位和精密超精密加工中。以往的驱动装置往往存在结构尺寸偏大、步进精度低、往返重复定位精度低、难于加工等缺点。因此，有必要设计一种定位精度和重复定位精度均较高，同时适本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微纳米级仿生多自由度驱动装置，包括输出轴（7）、定子（10）和转子，其特征在于：所述输出轴（7）的输出端开有链接用螺纹孔，并通过螺钉与转子上层箝位（6）连接；所述定子（10）为一端开口的圆筒，其内壁与转子上层箝位（6）、转子下层箝位（1）分别过渡配合；所述转子包括转子上层箝位块（6）、上层箝位压电叠堆（17）、直线驱动铰链Ⅰ（15）、直线驱动压电叠堆Ⅰ（11）、直线驱动铰链Ⅱ（3）、直线驱动压电叠堆Ⅱ（5）、旋转驱动铰链（2）、旋转驱动压电叠堆（13）、转子下层箝位块（1）和下层箝位压电叠堆（18），其中，所述上层箝位压电叠堆（17）封装在转子上层箝位块（6）中，直线驱动铰链Ⅰ（15）与转...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵宏伟，李建平，任露泉，傅璐，曲涵，马志超，胡晓利，崔涛，刘闯，田野，
申请(专利权)人：吉林大学，
类型：实用新型
国别省市：