(甲基)丙烯酸2-烷基-2-金刚烷酯的纯化方法技术

本发明专利技术提供(甲基)丙烯酸2-烷基-2-金刚烷酯的纯化方法，所述方法为，向(甲基)丙烯酸2-烷基-2-金刚烷酯中加入聚合抑制剂进行蒸馏，向上述经蒸馏的(甲基)丙烯酸2-烷基-2-金刚烷酯中添加醇类溶剂进行结晶。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及。
技术介绍
(甲基)丙烯酸2-烷基-2-金刚烷酯为作为面向ArF用半导体用光致抗蚀剂的单体特别有用的基材，随着半导体加工的精细化，需要更高纯度的物质。由于烷基为碳原子数广3者可蒸馏纯化，所以以除去金属成分为目的而进行蒸馏纯化。由于它们属于聚合性物质，所以采用简单蒸馏或薄膜蒸馏。但是，作为面向抗蚀剂的高纯度单体，不仅聚合性杂质,而且进一步要求非聚合性杂质和重质成分也少。在专利文献I中，对(甲基)丙烯酸2-烷基-2-金刚烷酯进行蒸馏纯化，但仅凭 蒸馏无法除去沸点接近的成分，难以获得高纯度。专利文献2公开了通过进行2次(甲基)丙烯酸烷基金刚烷酯的蒸馏来获得高纯度品的制备，但由于进行2次蒸馏操作，所以暴露于高温中生成大量重质成分的危险性大。专利文献3公开了调整加热温度、时间实施薄膜蒸馏的方法。专利文献4公开了在杂环化合物、碱性化合物的存在下进行蒸馏，获得高纯度品的方法。有混入杂环化合物或碱性性化合物之虞。专利文献5添加2，4-双(正辛硫基)-6-(4-羟基_3，5_ 二叔丁基苯胺基)-1，3，5-三嗪等作为分解抑制剂和聚合抑制剂进行纯化。现有技术文献 专利文献 专利文献本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：河野直弥，田中慎司，上野山义崇，
申请(专利权)人：出光兴产株式会社，
类型：
国别省市：