用于生产多晶硅用的反应器的具有变频器的供电装置制造方法及图纸

技术编号:8242461 阅读:154 留言:0更新日期:2013-01-24 23:26
本发明专利技术涉及一种用于生产多晶硅用的反应器(R)用的供电装置(MF),所述供电装置具有一个变频器、至少一个用于从供电网接收输入电流的输入端和多个用于连接一个或多个负载(3)的输出端,所述输入端能与所述供电网连接,通过所述输出端能给所述一个或多个负载(3)供给输出电流,其中,所述供电装置具有一个用于将输入电流转换成n相的多相交流电的不带变压器的电路,在用于转换的电路的次级侧形成的n相交流电系统的线电压之间的相位差为360°/n,并且n是大于或等于2的自然数,供电装置(MF)具有n个输出端,所述输出端形成一个链,以及在每个输出端上施加n相交流电系统的线电压中的一个电压。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于生产多晶硅用的反应器的供电装置,所述供电装置具有一个变频器、至少一个用于从供电网接收输入电流的输入端和多个输出端,所述输入端能与所述供电网连接,所述输出端分别带有两个配设的用于连接一个或多个负载的接头,其中,经由每个输出端能够给连接在输出端上的所述一个负载或连接在输出端上的所述多个负载供给输出电流。
技术介绍
由文献EP 2 100 851A2已知供电装置,所述供电装置包括变频器并且能够由单相供电网供给电能。在带有变频器的供电装置上可以连接负载,例如用于通过根据西门子法进行气相沉积来生产多晶娃的娃反应器的娃棒。根据文献EP 2 100 851A2的图3示出了,两个串联的负载各由一个带有变频器的供电装置供给电能,其中,带有变频器的各供电装置分别单相地实施。供电装置所提供的电流之间的相位为180°。因此,由两个带有变频器的供电装置提供的电压在总和中抵消。在将在本申请的申请日之后公开的、申请号为10 150 728和11 164 316的欧洲申请中描述了带有变频器的供电装置,在所述供电装置的输出端上连接有一个带有一个初级绕组和两个次级绕组的变压器。所述两个次级绕组具有相同的匝数。但是它们绕向相反。因此,在次级绕组的输出端上施加数值相同、但方向相反的电压。次级绕组彼此相连接,并且该连接形成一个两相交流电系统的一根中性导线,而次级线圈的其他端部形成该两相交流电系统的外导线,该两相交流电系统给所连接的负载供给电压。负载连接在两相交流电系统的各一个外导线和中性导线上。如在文献EP 2 100 851A2中所描述的那样连接的两个带有变频器的供电装置和在申请10 150 728和11 164 316中描述的带有变频器的供电装置的优点是,除了借助带有变频器的供电装置给负载供电之外,还可以同时利用另一供电装置来进行供电,而供电装置互不影响。这也在文献EP 2 100 851A2和在申请10 150 728和11 164 316中有所描述。在文献EP 2 100 851A2中描述的、具有两个带有变频器的供电装置的电路的缺点是,为了实现两相交流电系统而需要两个变频器。在申请10 150 728和11 164 316中描述的、带有变频器的供电装置的缺点是,为了实现两相交流电系统而需要一个特殊的变压器,该变压器要求一个初级绕组和两个反向绕制的次级绕组。此外,从Dierk Schr6der的出版号为ISBN 978-3-540-69300-0的教科书《功率电子电路(Leistungselektronische Schaltungen)》”已知换流器、例如振荡回路换流器,和AC-AC变换器、例如具有中间电路存储器的AC-AC变换器或者矩阵变换器,它们基本上适合于提供多相交流电、尤其是三相交流电。然而,在该教科书中却没有在应用方面对将换流器或AC-AC变流器接在如下供电装置中进行描述,所述供电装置适合于多晶硅反应器并且为多晶硅反应器而设立。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题在于,如此改善开头所提及类型的供电装置,使得所述供电装置的工作能力更高。上述技术问题通过如下方式得以解决,S卩,所述供电装置具有一个用于将输入电流转换成η相的多相交流电的电路,其中,在用于转换的电路的次级侧形成的η相交流电系统的线电压(也就是说链电压)之间的相位差为360° /η,并且η是大于或等于2的自然数,所述供电装置具有η个输出端,所述输出端通过如下方式形成一个链,即,在所述η个输出端中存在η-2个这样的输出端,为这η-2个输出端配设有两个接头,所述两个接头同时还分别配设于所述输出端中的另一输出端,以及在每个输出端上施加η相交流电系统的线电压中的一个电压。优选地,供电装置的输入电流由用于转换的电路转换成多相交流电,所述多相交 流电具有至少三相。通过将通常取自三相交流电系统或者单相交流电系统的输入电流分配到η相交流电系统上,可以构建工作能力更高的带有变频器的供电装置。利用一个根据本专利技术的供电装置,在同时节省电路元件的情况下,与由文献EP 2 100 851Α2已知的供电装置相比,可以给更多数量的负载供电。根据本专利技术的供电装置的另一优点在于,可以实现更高的功率因数。用于将输入电流转换成η相的多相交流电的电路可以包含在优选利用功率电子构件例如晶闸管、三端双向可控硅元件(Triacs)、IGBT (绝缘栅双极晶体管)、尤其是RC-IGBT或RB-IGBT构建的AC-AC变流器中、尤其是在带有中间电路存储器的AC-AC变换器或者矩阵变换器中。用于转换的电路可以包含在优选利用功率电子构件例如晶闸管、三端双向可控硅元件、IGBT构建的换流器中、尤其是在振荡回路换流器中。AC-AC变流器或换流器优选适合于并且设立用于产生η相的多相交流电。与在申请10 150 728和11 164316中描述的供电装置相反,可以在没有变压器的情况下将输入电流转换成η相的多相交流电。用于转换的电路可以包含在AC-AC变流器中、尤其是在带有中间电路存储器的AC-AC变换器或者矩阵变换器中。在带有中间电路存储器的AC-AC变换器中,尤其是带有电容器的AC-AC变换器可以用作中间电路存储器。作为矩阵变换器,可以使用直接矩阵变换器(例如常规的矩阵变换器、全桥电路中的矩阵变换器)和间接矩阵变换器(例如不带中间电路电容器的AC/DC-DC/AC变换器、常规的间接矩阵变换器、稀疏矩阵变换器、三点矩阵变换器)。但可以想到,借助旋转机器的转换不是如借助功率电子半导线构件的转换那么有利。用于转换的电路可包含在换流器中、尤其是在振荡回路换流器中。有利的是,所述AC-AC变流器或者换流器也包括所述变频器。将输入电流转换成具有η相的多相交流电以及将通常情况下在50Hz至60Hz之间的频率提高至例如为O. 3MHz至300MHz、优选为20MHz至200MHz的频率由此可以利用一个电路实现。至少一个变压器可以连接在AC-AC变流器或换流器下游,以便将供电装置输出端上的电压提升到对于有待供电的过程所需要的数值。变压器优选是η相变压器。η相变压器可以在初级侧以多边形接法连接。η相变压器的次级绕组优选与供电装置的各一个输出端并联。借助根据本专利技术的供电装置可以构建由一个第一供电装置和根据本专利技术的供电装置组成的根据本专利技术的设备,其中,根据本专利技术的供电装置在下面称为第二供电装置。这种设备包括一所述第一供电装置,其中,所述第一供电装置至少具有一个单相变压器、一个三相变压器或者一个η相变压器,所述变压器对于每个次级绕组带有至少三个抽头,其中,每个次级绕组的一个抽头与次级侧的一个中性导线连接并且每个次级绕组的其余抽头通过各一个功率调整器与次级侧的一个外导线连接,每个次级侧的外导线与一个外导线接头连接,而所述中性导线与至少一个中性导线接头连接,每个外导线接头与所述中性导线接头之一共同形成第一供电装置的一个输出端,以及 一I至η个第二供电装置,其中,第一供电装置的每个输出端与由所述一个第二供电装置或所述η个第二供电装置之一的输出端组成的一个链或链之一并联。第一供电装置可以具有一控制装置,该控制装置以电压序列控制的方式驱动在次级绕组的抽头上连接的功率调整器,例如像在AEGPower Solutions有限责任公司本文档来自技高网
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【技术保护点】
用于生产多晶硅用的反应器(R)的供电装置(MF),具有一个变频器、至少一个用于从供电网接收输入电流的输入端和多个输出端(H”、L1”;L1”、L2”;L2”、L3”),所述输入端能够与供电网连接,所述输出端分别带有两个配设的用于连接一个或多个负载(31、32、33)的接头(H”、L1”、L2”、L3”),其中,通过每个输出端(H”、L1”;L1”、L2”;L2”、L3”)能给连接在输出端(H”、L1”;L1”、L2”;L2”、L3”)上的所述一个负载(31、32、33)或者连接在输出端上的所述多个负载供给输出电流,其特征在于,所述供电装置(MF)具有一个用于将输入电流转换成n相的多相交流电的不带变压器的电路,其中,在用于转换的电路的次级侧形成的n相交流电系统的线电压之间的相位差为360°/n,并且n是大于或等于2的自然数,所述供电装置具有n个输出端(H”、L1”;L1”、L2”;L2”、L3”),所述输出端(H”、L1”;L1”、L2”;L2”、L3”)通过如下方式形成一个链,即,在所述n个输出端(H”、L1”;L1”、L2”;L2”、L3”)中存在n?2个这样的输出端(L1”、L2”),为这n?2个输出端配设两个接头(L1”、L2”),这两个接头同时还分别配设于所述输出端中的另一输出端(H”、L1”;L2”、L3”),以及在每个输出端(H”、L1”;L1”、L2”;L2”、L3”)上施加n相交流电系统的线电压中的一个电压。...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:P·瓦尔迈尔
申请(专利权)人:安奕极电源系统有限责任公司
类型:发明
国别省市:

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