刻划装置制造方法及图纸

一种刻划装置。能够根据刻划线的种类使用适当的刻划头来形成刻划线。该装置用于在基板上形成多条刻划线，其具备：第1刻划单元（11），其具有第1刻划头，在基板上形成第1刻划线；以及第2刻划单元（12），其具有第2刻划头，在基板上形成第2刻划线。第1刻划头具有：夹具保持部件（23）；以及夹具（24），其前端可安装刀轮（42），被支撑为能够相对于夹具保持部件（23）绕与工件表面垂直的轴旋转自如。第2刻划头具有：夹具保持部件（23）；以及夹具（24），其前端可以安装刀轮（42），其相对于夹具保持部件（23）的绕与工件表面垂直的轴的旋转被限制。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及刻划装置，特别是用于在作为工件的脆性材料基板上形成多条刻划线的刻划装置。
技术介绍
例如在分割玻璃基板的情况下，将刀轮等工具的刀尖压接在玻璃基板上，使该刀尖沿着刻划预定线移动，由此形成刻划线。接着，沿着刻划线向玻璃基板施加规定的力来分割玻璃基板。在进行上面那样的玻璃基板的分割时，使用例如专利文献I中示出的刻划装置。该专利文献I中示出的装置是用于分割例如由2片玻璃基板贴合而得到的LCD基板的装置，具备保持搬运单元和2个刻划头。为了分别刻划基板的正面和背面，2个刻划头配置成 上下相对。此外，保持搬运单元在2个刻划头之间搬运基板。在专利文献I中示出的装置中，存在在上下的玻璃基板的相同位置形成刻划线的情况和在上下的玻璃基板的不同位置形成刻划线的情况。当对上下的玻璃基板在相同位置形成刻划线时，分别装有刀轮的刻划头以从上下将两玻璃基板夹入的方式进行压碾，而形成刻划线。另一方面，当在上下的玻璃基板的不同位置形成刻划线时，使装有一方的刻划头的桥架(bridge)移动，使用上下的刻划头在基板正面和背面的不同位置形成刻划线。此外，在专利文献2中，示出了以缩短加工时间为目的的基板分割方法。在此处，当从母基板切出多个单位基板时，能够使刻划头在始终保持与基板接触的状态下移动而进行加工，以使得刀轮对基板的压碾不会中途中断。在先技术文献专利文献专利文献I :W0 02/057192A1专利文献2 :W0 2005/113212A1在专利文献I和2中示出的以往的亥找Ij装置中，当刻划头的移动方向变更时，必须使刀轮平稳地追随变更后的移动方向。因此，安装有刀轮的夹具相对于夹具保持部件，以能够绕与基板正面垂直的轴自由旋转的方式被支撑。另一方面，特别是在通过刻划线而分割的截面直接成为产品的截面而露出的情况下，必须避免加工的刻划线的起伏。为了避免刻划线的起伏，期望对装有刀轮的夹具的旋转进行限制。
技术实现思路
本专利技术的课题在于提供一种刻划装置，该刻划装置能够根据刻划线的种类使用适当的刻划头来形成刻划线。第I专利技术的刻划装置用于在作为工件的脆性材料基板上形成多条刻划线，其具备第I刻划单元，其具有第I刻划头，在脆性材料基板上形成第I刻划线；以及第2刻划单元，其具有第2刻划头，在脆性材料基板上形成第2刻划线。第I刻划头具有第I夹具保持部件；以及第I夹具，其前端可安装刀具，被支撑为能够相对于第I夹具保持部件绕与工件表面垂直的轴旋转自如。第2刻划头具有第2夹具保持部件；以及第2夹具，其前端可安装刀具，其相对于第2夹具保持部件的绕与工件表面垂直的轴的旋转被限制。在此，在变更刻划头的移动方向而形成刻划线的情况下，通过使用第I刻划单元，装有刀具的第I夹具能够平稳地追随第I刻划头的移动而形成刻划线。此外，在形成直线的刻划线的情况下，通过使用第2刻划单元，能够限制装有刀具的第2夹具的旋转，形成抑制了起伏的刻划线。第2专利技术的刻划装置是在第I专利技术的装置中，在第I刻划单元与第2刻划单元之间还具备用于变更脆性材料基板的姿势的姿势变更单元。例如，当在脆性材料基板上形成互相垂直的X方向以及y方向的刻划线时，在使用 第I刻划单元形成了 X方向的刻划线之后，在姿势变更单元中，将脆性材料基板在工作台面上旋转90度。然后，在第2刻划单元中形成7方向的刻划线。因此，能够高效地进行加工。第3专利技术的刻划装置是在第I或者第2专利技术的装置中，第I刻划单元还具有第3刻划头，该第3刻划头隔着欲被加工的脆性材料基板与第I刻划头相向配置。而且，第3刻划头具有第3夹具保持部件；以及第3夹具，其前端可安装刀具，其相对于第3夹具保持部件的绕与工件表面垂直的轴的旋转被限制，第3刻划头在脆性材料基板上形成第3刻划线。在此处，在第I刻划单元中，能够在基板的两个面上形成刻划线。此时，能够在基板的一个面上平稳地形成变更了刻划头的移动方向的刻划线，能够在基板的另一个面上形成抑制了起伏的直线的刻划线。第4专利技术的刻划装置是在第I至第3专利技术中的任意一个装置中，第2刻划单元还具有第4刻划头，该第4刻划头隔着欲被加工的脆性材料基板与第2刻划头相向配置。而且，第4刻划头具有第4夹具保持部件；第4夹具，其前端可安装刀具，其相对于第4夹具保持部件的绕与工件表面垂直的轴的旋转被限制，第4刻划头在脆性材料基板上形成第4刻划线。在此处，在基板的正面和背面，能够形成抑制了起伏的直线的刻划线，能够高效地形成质量稳定的刻划线。如上所述，在本专利技术中，能够根据刻划线的种类使用适当的刻划头来形成刻划线。附图说明图I是示出使用本专利技术的一个实施方式的刻划装置加工的基板的一例的图。图2是说明所述刻划装置中的刻划线的图。图3是示出使用本专利技术的一个实施方式的刻划装置加工的基板的一例的图。图4是所述刻划装置的示意俯视图。图5是所述刻划装置的示意正视图。图6是刻划头的外观立体图。图7是刻划头的局部剖面图。图8是中心立轴装配体的部分剖面图。标号说明10 :刻划装置11:第I刻划单元12 :第2刻划单元13 :基板姿势变更装置20 :刻划头23 :夹具保持部件24 :夹具 35c :旋转限制用孔42 :刀轮45 :螺纹部件具体实施例方式下面以分割液晶显示面板制造用的母基板时的刻划装置为例进行说明。首先，对作为加工对象的工件进行说明。如图I所示，液晶显示面板制造用的母基板MG由形成有多个单位显示面板(单位基板)的图案P的2个基板G1、G2 (参照图2)贴合而构成。具体而言，如图2所示，夹着封入液晶的密封材料，将形成有多个滤色器的第I基板(也称为CF侧基板)Gl与形成有多个TFT及端子区域的第2基板(也称为TFT基板)G2贴合。在此处，第2基板G2的端子区域T(在图I的放大图中，利用假想线示出端子的一部分)是内部的TFT与外部设备之间连接信号线的区域，因此在分割的最后阶段需要使其在外部露出。另一方面，除在2个基板Gl、G2之间封入液晶的密封材料外，在母基板MG的外周边部设置有外部封条I。该外部封条I是用于粘接2片基板Gl、G2的封条，以防止分割母基板MG时产生的切片飞散。当沿X方向刻划这样的母基板MG时，如图I所示，需要使形成在下面的TFT基板G2上的电极端子2露出。另外，在图I中，实线SI是上方的刀具刻划出的刻划线，虚线S2是下方的刀具刻划出的刻划线。因此，需要使CF基板Gl的刻划线SI与TFT基板G2的刻划线S2的位置仅相差端子的量而进行刻划。但是，即便在使刻划线错开的情况下，也需要使上下的刻划线SI、S2在从母基板MG的端部到外部封条I的内端为止的范围内一致而进行刻划。假如，图2 (a)、(b)所示，在没有使上下的刻划线SI、S2在从母基板MG的端部到外部封条I为止的范围内一致的情况下，外部封条I将残留在2个基板G1、G2之间。于是，在外部封条I残留的部分中，CF基板Gl与TFT基板G2保持贴合状态，端子部分不能露出。因此，如前所述，在从母基板MG的端部到外部封条I的内端为止的范围内，使上下的刻划线S1、S2—致而进行刻划，然后，需要将上下的刻划线S1、S2错开。另外，图2 (b)是该图(a)的A向视图。此外，如图3所示，当在y方向上刻划时，上下的刻划线S3、S4从刻划线的起点开始成为单位基板P的完成品的截面，因此为了抑制分割面的质量劣化，需要避本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种刻划装置，用于在作为工件的脆性材料基板上形成多条刻划线，所述刻划装置具备：第1刻划单元，其用于在脆性材料基板上形成第1刻划线，且具有第1刻划头，该第1刻划头具有：第1夹具保持部件；以及第1夹具，该第1夹具的前端可安装刀具，被支撑为能够相对于所述第1夹具保持部件绕与工件表面垂直的轴旋转自如；以及第2刻划单元，其用于在脆性材料基板上形成第2刻划线，且具有第2刻划头，该第2刻划头具有：第2夹具保持部件；以及第2夹具，该第2夹具的前端可安装刀具，其相对于所述第2夹具保持部件的绕与工件表面垂直的轴的旋转被限制。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：成尾徹，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：