【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种玻璃基板等脆性材料基板的分断装置，特别是涉及在基板上形成刻划槽并沿着该刻划槽进行分断的分断装置。
技术介绍
一直以来，已知沿着形成在大面积的母基板的多条平行刻划槽进行分断以形成多个短矩形基板，之后，在短矩形基板形成沿着宽度方向的多条刻划槽并从此刻划槽将基板裂断，借此分割成各单位产品，取出单位产品的方法(例如参照专利文献I、专利文献2坐^寸/ ο 图9是概略显示现有习知分断方法的说明图。从母基板切出的短矩形基板W，如图9(a)及图9(b)所示，以沿着长度方向的水平姿势送至刻划装置31，在宽度方向加工多个刻划槽S。构成刻划装置31的框架的一部分的长带的横梁(Beam)31a，配置在与短矩形基板W的搬送方向正交的方向，在横梁31a安装有具备刀轮等刻划槽形成具的刻划头31b，此刻划头31b往复运动依序加工多个刻划槽S。之后，如图9(c)所示，使短矩形基板W表面背面反转并送至裂断装置32，如图9(d)所示，借由裂断杆32a从刻划槽S依序分断，取出单位要素的产品W1。然而，在此方法，在刻划装置必须使刻划头往复移动刻划槽S数量的次数，因此会有作业时间变长、产...
【技术保护点】
一种分断装置，其特征在于具备：刻划部，在短矩形基板的表面沿着基板宽度方向形成刻划槽；反转部，使形成有刻划槽的短矩形基板表面背面反转；裂断部，沿着刻划槽将表面背面反转后的短矩形基板分断；以及搬送部，将该短矩形基板从刻划部搬送至裂断部；该搬送部，是形成为能使短矩形基板的长度方向维持朝向搬送方向的姿势且维持搬送方向的状态下搬送短矩形基板；保持该刻划部的刻划头的横梁是沿着短矩形基板的长度方向形成，借由使刻划头或短矩形基板的任一者相对移动，在短矩形基板加工沿着宽度方向的刻划槽。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：西尾仁孝，中田胜喜，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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