一种原子力显微镜探针悬臂振动装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提出一种原子力显微镜探针悬臂振动装置，包括：有机玻璃模块，在其上面有2个长方形的槽，分别安置探针和铟化镓导电玻璃，探针悬臂镀有金属的背面和导电玻璃作为两个电极，在这两个电极间施加交流信号从而产生静电力来驱动悬臂振动，进一步叠加直流信号来提高悬臂振动幅度；不锈钢模块，用于稳定此装置，减小漂移。本实用新型专利技术在用静电力驱动原子力显微镜探针悬臂振动的基础上发展了一种通过叠加直流偏压增加振动幅值的装置，该装置结构简单，操作方便，作用力直接施加于悬臂，避免了悬臂振动频谱图中杂峰的出现，提高了振幅，从而振动信号的信噪比增加，有利于锁定真正的悬臂共振频率，进而提高了仪器的分辨率。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及原子力显微镜探针悬臂振动领域，且特别涉及一种原子力显微镜探针悬臂振动装置。
技术介绍
原子力显微镜(Atomic Force Microscope, AFM), 一种可用来研究包括绝缘体在内的固体材料表面结构的分析仪器。它通过检测待测样品表面和一个微型力敏感元件之间的极微弱的原子间相互作用力来研究物质的表面结构及性质。将一对微弱力极端敏感的微悬臂一端固定，另一端的微小针尖接近样品，这时它将与其相互作用，作用力将使得微悬臂发生形变或运动状态发生变化。扫描样品时，利用传感器检测这些变化，就可获得作用力分布信息，从而以纳米级分辨率获得表面结构信息。 对于传统的商业原子力显微镜(AFM)，用来放置探针的液体槽装有压电陶瓷，当在溶液环境中工作在轻敲模式时，通过在压电陶瓷上加交流电压引起其形变而驱动探针振动。由于压电陶瓷埋在液体槽中，这样当探针振动时，整个液体槽也会产生机械振动，观察频谱图，可以看到很多森林似的杂峰，降低了信噪比，并且由于杂峰的存在，有时会选错探针的共振频率。对于新发展的静电力驱动AFM悬臂振动的方法，避免了杂峰的产生，但是由于弱的静电作用力，悬臂振动振幅较小，从而信本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种原子力显微镜探针悬臂振动装置，其特征在于，包括：有机玻璃基底；第一沟槽和第二沟槽，分别设置于所述有机玻璃基底上；探针，设置于所述第一沟槽；导电玻璃，设置于所述第二沟槽。

【技术特征摘要】
1.一种原子力显微镜探针悬臂振动装置，其特征在于，包括 有机玻璃基底； 第一沟槽和第二沟槽，分别设置于所述有机玻璃基底上； 探针，设置于所述第一沟槽； 导电玻璃，设置于所述第二沟槽。2.根据权利要求I所述的原子力显微镜探针悬臂振动装置，其特征在于，所述第一沟槽和第二沟槽为长方形沟槽。3.根据权利要求I所述的原子力显微镜探针悬臂振动装置，其特征在于，所述导电玻璃为铟化镓玻璃。4.根据权利要求I所述的原子力显微镜探针悬臂振动装置，其特征在于，所述探针通过铜片和...

【专利技术属性】
技术研发人员：邵志峰，张金金，丹尼尔·恰科夫，孙洁林，沈轶，胡钧，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：实用新型
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