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本实用新型提出一种原子力显微镜探针悬臂振动装置，包括：有机玻璃模块，在其上面有2个长方形的槽，分别安置探针和铟化镓导电玻璃，探针悬臂镀有金属的背面和导电玻璃作为两个电极，在这两个电极间施加交流信号从而产生静电力来驱动悬臂振动，进一步叠加直流...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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