【技术实现步骤摘要】
本技术涉及压力传感器领域，尤其是涉及一种应变式压力传感器。
技术介绍
压力传感器，通过半导体的压阻效应来进行压力测量，采用在半导体基板上设置膜片，并在膜片上设置应变片的方式来进行测量，当压力改变，带动膜片发生形变，从而带动应变片变形，检测应变片的电阻变化，来确定压力数值。在现有技术中，为了实现压力传感器的小型化，通常采用的是减少隔膜片面积的方式，采用这种方式相对而言就减少了应力的峰值幅度，大大减少了压力传感器的测量灵 敏度。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种结构简单、体积较小、高测量灵敏度的压力传感器。本技术的技术方案是应变式压力传感器，包括基板，所述基板为正方形且为多层结构，包括设置在中间的绝缘层、位于绝缘层上层的第一半导体层和位于绝缘层下层的第二半导体层，差压膜片，所述差压膜片为正方形且位于所述基板的中央部，所述差压膜片的中心点与所述基板的中心点相重合，且所述差压膜片的对角线和所述基板的对角线呈45°夹角，静压膜片，所述静压膜片为四个，以所述基板的中心点为圆心均布在所述基板的边缘，且所述静压膜片都设置在所述基板的对角线上，应变片，所述应变片包括两组差压应变片...
【技术保护点】
应变式压力传感器，其特征在于：包括基板，所述基板为正方形且为多层结构，包括设置在中间的绝缘层、位于绝缘层上层的第一半导体层和位于绝缘层下层的第二半导体层，差压膜片，所述差压膜片为正方形且位于所述基板的中央部，所述差压膜片的中心点与所述基板的中心点相重合，且所述差压膜片的对角线和所述基板的对角线呈45°夹角，静压膜片，所述静压膜片为四个，以所述基板的中心点为圆心均布在所述基板的边缘，且所述静压膜片都设置在所述基板的对角线上，应变片，所述应变片包括两组差压应变片和四个静压应变片，每组所述差压应变片包括相互竖直设置且互不接触的两个应变片，两组差压应变片设置所述基板的对角线上，且分...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张建春，
申请(专利权)人：摩佰尔天津电子科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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