本实用新型专利技术提供应变式压力传感器，包括基板，差压膜片，所述差压膜片的中心点与所述基板的中心点相重合，静压膜片，以所述基板的中心点为圆心均布在所述基板的边缘，且所述静压膜片都设置在所述基板的对角线上，应变片，所述应变片包括两组差压应变片和四个静压应变片。本实用新型专利技术的有益效果是结构简单、体积较小、高测量灵敏度。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及压力传感器领域，尤其是涉及一种应变式压力传感器。
技术介绍
压力传感器，通过半导体的压阻效应来进行压力测量，采用在半导体基板上设置膜片，并在膜片上设置应变片的方式来进行测量，当压力改变，带动膜片发生形变，从而带动应变片变形，检测应变片的电阻变化，来确定压力数值。在现有技术中，为了实现压力传感器的小型化，通常采用的是减少隔膜片面积的方式，采用这种方式相对而言就减少了应力的峰值幅度，大大减少了压力传感器的测量灵 敏度。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种结构简单、体积较小、高测量灵敏度的压力传感器。本技术的技术方案是应变式压力传感器，包括基板，所述基板为正方形且为多层结构，包括设置在中间的绝缘层、位于绝缘层上层的第一半导体层和位于绝缘层下层的第二半导体层，差压膜片，所述差压膜片为正方形且位于所述基板的中央部，所述差压膜片的中心点与所述基板的中心点相重合，且所述差压膜片的对角线和所述基板的对角线呈45°夹角，静压膜片，所述静压膜片为四个，以所述基板的中心点为圆心均布在所述基板的边缘，且所述静压膜片都设置在所述基板的对角线上，应变片，所述应变片包括两组差压应变片和四个静压应变片，每组所述差压应变片包括相互竖直设置且互不接触的两个应变片，两组差压应变片设置所述基板的对角线上，且分设在所述基板的中心点的两侧，每组差压应变片都有一个应变片设置在所述差压膜片的周缘部分，每个静压应变片设置在所述静压膜片的中央部分，且与所位于的所述基板的对角线相垂直。进一步，还包括两个静压应变片，这两个静压应变片设置在所述基板没有所述差压应变片的对角线上，且分别设置在该对角线上的两个静压膜片的外周缘部分。进一步，所述静压膜片成长方形，且长边与所在的所述基板的对角线相垂直。本技术具有的优点和积极效果是结构简单、体积较小、高测量灵敏度。附图说明图I是本技术的结构示意图；图2是本技术中A-A剖视图示意图。图中I、基板2、第一半导体层 3、绝缘层4、第二半导体层 5、差压膜片6、静压膜片7、差压应变片 8、静压应变片具体实施方式如图I、图2所示，本技术包括基板1，所述基板I为正方形且为多层结构，包括设置在中间的绝缘层3、位于绝缘层3上层的第一半导体层2和位于绝缘层3下层的第二半导体层4，第一半导体层2和第二半导体层4可以由η型单晶硅构成，绝缘层3可以由SiO2层构成，起到蚀刻终止层的作用，差压膜片5，所述差压膜片5为正方形且位于所述基板I的中央部，所述差压膜片 5的中心点与所述基板I的中心点相重合，且所述差压膜片5的对角线和所述基板I的对角线呈45°夹角，所述差压膜片5通过蚀刻去除第二半导体层4来形成。静压膜片6，所述静压膜片6成长方形，且长边与所在的所述基板I的对角线相垂直，所述静压膜片6为四个，以所述基板I的中心点为圆心均布在所述基板I的边缘，且所述静压膜片6都设置在所述基板I的对角线上，所述静压膜片6通过蚀刻去除第二半导体层来形成。应变片，所述应变片包括两组差压应变片7和四个静压应变片8，每组所述差压应变片7包括相互竖直设置且互不接触的两个应变片，两组差压应变片设置所述基板I的对角线上，且分设在所述基板I的中心点的两侧，每组差压应变片7都有一个应变片设置在所述差压膜片5的周缘部分，每个静压应变片8设置在所述静压膜片6的中央部分，且与所位于的所述基板I的对角线相垂直。还包括两个静压应变片8，这两个静压应变片8设置在所述基板I没有所述差压应变片5的对角线上，且分别设置在该对角线上的两个静压膜片6的外周缘部分。以上对本技术的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本技术的较佳实施例，不能被认为用于限定本技术的实施范围。凡依本技术申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本技术的专利涵盖范围之内。权利要求1.应变式压力传感器，其特征在于包括 基板，所述基板为正方形且为多层结构，包括设置在中间的绝缘层、位于绝缘层上层的第一半导体层和位于绝缘层下层的第二半导体层， 差压膜片，所述差压膜片为正方形且位于所述基板的中央部，所述差压膜片的中心点与所述基板的中心点相重合，且所述差压膜片的对角线和所述基板的对角线呈45°夹角，静压膜片，所述静压膜片为四个，以所述基板的中心点为圆心均布在所述基板的边缘，且所述静压膜片都设置在所述基板的对角线上， 应变片，所述应变片包括两组差压应变片和四个静压应变片， 每组所述差压应变片包括相互竖直设置且互不接触的两个应变片，两组差压应变片设置所述基板的对角线上，且分设在所述基板的中心点的两侧，每组差压应变片都有一个应变片设置在所述差压膜片的周缘部分， 每个静压应变片设置在所述静压膜片的中央部分，且与所位于的所述基板的对角线相垂直。2.根据权利要求I所述的应变式压力传感器，其特征在于还包括两个静压应变片，这两个静压应变片设置在所述基板没有所述差压应变片的对角线上，且分别设置在该对角线上的两个静压膜片的外周缘部分。3.根据权利要求I所述的应变式压力传感器，其特征在于所述静压膜片成长方形，且长边与所在的所述基板的对角线相垂直。专利摘要本技术提供应变式压力传感器，包括基板，差压膜片，所述差压膜片的中心点与所述基板的中心点相重合，静压膜片，以所述基板的中心点为圆心均布在所述基板的边缘，且所述静压膜片都设置在所述基板的对角线上，应变片，所述应变片包括两组差压应变片和四个静压应变片。本技术的有益效果是结构简单、体积较小、高测量灵敏度。文档编号G01L1/22GK202676332SQ20122027041公开日2013年1月16日 申请日期2012年6月8日 优先权日2012年6月8日专利技术者张建春 申请人:摩佰尔(天津)电子科技有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
应变式压力传感器，其特征在于：包括基板，所述基板为正方形且为多层结构，包括设置在中间的绝缘层、位于绝缘层上层的第一半导体层和位于绝缘层下层的第二半导体层，差压膜片，所述差压膜片为正方形且位于所述基板的中央部，所述差压膜片的中心点与所述基板的中心点相重合，且所述差压膜片的对角线和所述基板的对角线呈45°夹角，静压膜片，所述静压膜片为四个，以所述基板的中心点为圆心均布在所述基板的边缘，且所述静压膜片都设置在所述基板的对角线上，应变片，所述应变片包括两组差压应变片和四个静压应变片，每组所述差压应变片包括相互竖直设置且互不接触的两个应变片，两组差压应变片设置所述基板的对角线上，且分设在所述基板的中心点的两侧，每组差压应变片都有一个应变片设置在所述差压膜片的周缘部分，每个静压应变片设置在所述静压膜片的中央部分，且与所位于的所述基板的对角线相垂直。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张建春，
申请(专利权)人：摩佰尔天津电子科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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