超纯气体生产中气瓶全自动预处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提出了一种超纯气体生产中气瓶全自动预处理装置。它包括外露式气瓶烘箱和气路总管，气路总管上分别连接有自动排空单元、自动置换单元和自动抽空单元。本实用新型专利技术的优点是气瓶抽空置换全部采用电磁阀和程序自动控制，在真空加热的同时，不断用超纯气体对气瓶进行抽空和置换，将气瓶真空干燥和气瓶抽空置换的同时处理，使用外露式真空干燥装置，将气瓶瓶身加热并保持在70℃。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种超纯气体生产中气瓶全自动预处理装置。
技术介绍
超纯气体通常指纯度在99. 9999%以上的气体。在瓶装超纯气体生产中，气体包装物(气瓶)的预处理是一个关键。如果气瓶处理稍有不慎，就会导致气体纯度的极大波动。在气瓶预处理的诸多步骤中，水分处理又显得尤为关键。和其他常见的不冷凝杂质不同的是，水的附着力较强，容易附着在气瓶内壁上。如果气瓶内壁没有经过特殊的抛光处理，气瓶中水分的处理就变得非常困难。现行的方法首先是采用气瓶真空干燥装置将气瓶加热61小时，干燥气瓶里的水 分。然后再将干燥好的气瓶连接到汇流排，使用超纯气体对干燥后气瓶进行反复的抽空置换处理。抽空置换的次数通常在5 8遍，耗时在3飞个小时。气瓶真空干燥装置有两类，一类是密闭式加热，另一类是外露式加热。密闭式干燥装置的特点是加热温度高，水分气化相对较快；但过高的加热温度(通常超过IO(TC)也导致了对气瓶阀门有损害。所以使用密闭式干燥装置前，需要气瓶卸下阀门；在气瓶干燥完后再将气瓶阀门装上。外露式真空干燥装置是将气瓶的瓶阀和瓶颈裸露在外，仅对气瓶的瓶身加热。缺点是加热温度低(通常在80°c左右)、保温较差，加热时间本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超纯气体生产中气瓶全自动预处理装置，其特征在于：包括外露式气瓶烘箱和气路总管，气路总管上分别连接有自动排空单元、自动置换单元和自动抽空单元。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：金星屹，张根华，
申请(专利权)人：重庆瑞信气体有限公司，
类型：实用新型
国别省市：