本实用新型专利技术提出了一种超纯气体生产中气瓶全自动预处理装置。它包括外露式气瓶烘箱和气路总管，气路总管上分别连接有自动排空单元、自动置换单元和自动抽空单元。本实用新型专利技术的优点是气瓶抽空置换全部采用电磁阀和程序自动控制，在真空加热的同时，不断用超纯气体对气瓶进行抽空和置换，将气瓶真空干燥和气瓶抽空置换的同时处理，使用外露式真空干燥装置，将气瓶瓶身加热并保持在70℃。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种超纯气体生产中气瓶全自动预处理装置。
技术介绍
超纯气体通常指纯度在99. 9999%以上的气体。在瓶装超纯气体生产中，气体包装物(气瓶)的预处理是一个关键。如果气瓶处理稍有不慎，就会导致气体纯度的极大波动。在气瓶预处理的诸多步骤中，水分处理又显得尤为关键。和其他常见的不冷凝杂质不同的是，水的附着力较强，容易附着在气瓶内壁上。如果气瓶内壁没有经过特殊的抛光处理，气瓶中水分的处理就变得非常困难。现行的方法首先是采用气瓶真空干燥装置将气瓶加热61小时，干燥气瓶里的水 分。然后再将干燥好的气瓶连接到汇流排，使用超纯气体对干燥后气瓶进行反复的抽空置换处理。抽空置换的次数通常在5 8遍，耗时在3飞个小时。气瓶真空干燥装置有两类，一类是密闭式加热，另一类是外露式加热。密闭式干燥装置的特点是加热温度高，水分气化相对较快；但过高的加热温度(通常超过IO(TC)也导致了对气瓶阀门有损害。所以使用密闭式干燥装置前，需要气瓶卸下阀门；在气瓶干燥完后再将气瓶阀门装上。外露式真空干燥装置是将气瓶的瓶阀和瓶颈裸露在外，仅对气瓶的瓶身加热。缺点是加热温度低(通常在80°c左右)、保温较差，加热时间长；优点是不需卸下气瓶阀门。气体公司通常使用密闭式干燥装置，但是密闭式干燥装置有几个缺点第一是没有对气体阀门进行干燥；第二是气瓶干燥后安装阀门的国产中气瓶内部会进入空气和水分。经过实验,超纯气体的生产中,这两个缺点会较明显的增加气瓶中的杂质含量。气体公司通常采用手动的抽空置换装置。手动置换装置虽然安装简单，但是过多人为操作可能会导致产品质量的波动。而且由于该步骤周期较长，也浪费人力物力。
技术实现思路
本技术提出一种超纯气体生产中气瓶全自动预处理装置，它能够有效地克服现有技术中的不足，气瓶抽空置换全部采用电磁阀和程序自动控制，在真空加热的同时，不断用超纯气体对气瓶进行抽空和置换，将气瓶真空干燥和气瓶抽空置换的同时处理，使用外露式真空干燥装置，将气瓶瓶身加热并保持在70°C。本技术的技术方案是这样实现的一种超纯气体生产中气瓶全自动预处理装置，包括外露式气瓶烘箱和气路总管，气路总管上分别连接有自动排空单元、自动置换单元和自动抽空单元。作为优选，所述自动排空单元包括依次连接的排空电磁阀和排空单向阀。作为优选，所述排空电磁阀为电磁隔膜阀。作为优选，所述自动置换单元包括依次连接的置换气瓶、减压阀、纯化器、置换电磁阀。作为优选，所述置换电磁阀为电磁隔膜阀。作为优选，所述自动抽空单元包括依次连接的真空泵和抽空电磁阀。作为优选，所述抽空电磁阀为电磁隔膜阀。作为优选，所述真空泵为双极真空泵。本技术的有益效果在于(I)使用外露式气瓶真空干燥装置，不需卸下气瓶阀门，保证气瓶干燥效果。(2)加热温度为70°C;在近真空的环境下，水的沸点大大降低。水分能够气化。经温度检测，在瓶身温度达到70°C时，气瓶阀门温度也能够达到40°C左右，在该温度和压力下，水分也能沸腾气化。( 3 )采用全自动抽空置换装置，节省人力物力。(4)气瓶真空干燥和抽空置换同时进行，大大节省时间，而且比两个步骤依次进行的效果更好。(5)系统全部采用电磁隔膜阀，气瓶阀门采用隔膜瓶阀，并使用双极真空泵，依次提高真空度。真空度越高，水分越易气化，抽空置换的效率也更高。(6)使用减压阀控制置换气压力，减少置换气的消耗。(7)显著减少处理的置换次数，减少置换气的消耗，节省时间。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的其中一个实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图I为本技术实施例的结构示意图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术其中一个实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。如图I所示，一种超纯气体生产中气瓶全自动预处理装置，包括外露式气瓶烘箱I和气路总管2，气路总管2上分别连接有自动排空单元、自动置换单元和自动抽空单元。所述自动排空单元包括依次连接的排空电磁阀3和排空单向阀4，该排空电磁阀3为电磁隔膜阀。所述自动置换单元包括依次连接的置换气瓶5、减压阀6、纯化器7、置换电磁阀8，该置换电磁阀8为电磁隔膜阀。所述自动抽空单元包括依次连接的真空泵9和抽空电磁阀10，该抽空电磁阀10为电磁隔膜阀，真空泵9为双极真空泵。在使用时，将气瓶11置于外露式气瓶烘箱I内，用连接支管12将各个气瓶11连接于气路总管2上，打开气瓶瓶阀；将减压阀6的出口压力设定到O. IMPa，开启置换气气瓶瓶阀。气瓶全自动处理的程序设置为加热抽空53分钟，此时抽空电磁阀10开启，其他电磁阀关闭。气体置换5分装，此时置换电磁阀8开启，其他电磁阀关闭。气体放空2分钟，此时排空电磁阀3开启，其他电磁阀关闭。再重复上述周期4次后，关闭所有的电磁阀，关闭气瓶阀门，关闭烘箱。全自动处理气瓶时间共计5小时。经分析，经过此方法处理的气瓶杂质含量能够达到超纯气体的预处理要求。水含量小于Ippm,其他杂质小于O. 3ppm。相比较，经过密闭式真空干燥装置加热4小时，另抽空置换5次的水含量均超过2ppm,其他杂质在O. 3ppm左右,共计耗时7小时。相比较，经过外露式真空干燥装置加热5小时，另抽空置换5次的水含量均超过I. 3ppm，其他杂质在O. 3ppm左右，共计耗时8小时。 使用外露式气瓶真空干燥装置，不需卸下气瓶阀门，又保证了气瓶的干燥效果，将气瓶真空干燥和抽空置换同时进行，大大节省时间，而且比两个步骤依次进行的效果更好。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。权利要求1.一种超纯气体生产中气瓶全自动预处理装置，其特征在于包括外露式气瓶烘箱和气路总管，气路总管上分别连接有自动排空单元、自动置换单元和自动抽空单元。2.根据权利要求I所述的超纯气体生产中气瓶全自动预处理装置，其特征在于所述自动排空单元包括依次连接的排空电磁阀和排空单向阀。3.根据权利要求2所述的超纯气体生产中气瓶全自动预处理装置，其特征在于所述排空电磁阀为电磁隔膜阀。4.根据权利要求I所述的超纯气体生产中气瓶全自动预处理装置，其特征在于所述自动置换单元包括依次连接的置换气瓶、减压阀、纯化器、置换电磁阀。5.根据权利要求4所述的超纯气体生产中气瓶全自动预处理装置，其特征在于所述置换电磁阀为电磁隔膜阀。6.根据权利要求I所述的超纯气体生产中气瓶全自动预处理装置，其特征在于所述自动抽空单元包括依次连接的真空泵和抽空电磁阀。7.根据权利要求6所述的超纯气体生产中气瓶全自动预处理装置，其特征在于所述抽空电磁阀为电磁隔膜阀。8.根据权利要求6所述的超纯气体生产中气瓶全自动预处理装置，其特征在于所述真空泵为双极真空泵。专利摘要本技术提出了一本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种超纯气体生产中气瓶全自动预处理装置，其特征在于：包括外露式气瓶烘箱和气路总管，气路总管上分别连接有自动排空单元、自动置换单元和自动抽空单元。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：金星屹，张根华，
申请(专利权)人：重庆瑞信气体有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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