下载超纯气体生产中气瓶全自动预处理装置的技术资料

文档序号:8202165

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本实用新型提出了一种超纯气体生产中气瓶全自动预处理装置。它包括外露式气瓶烘箱和气路总管,气路总管上分别连接有自动排空单元、自动置换单元和自动抽空单元。本实用新型的优点是气瓶抽空置换全部采用电磁阀和程序自动控制,在真空加热的同时,不断用超纯气...
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