本发明专利技术公开了一种电容式触摸传感器的制作方法，包括：使用透明导电层图案掩膜和光刻胶制作驱动电极图案层；使用绝缘层掩膜和光刻胶制作绝缘层；使用透明导电层图案掩膜和驱动电极图案层胶性相反的光刻胶制作感应电极图案层，驱动电极图案层和感应电极图案层位于绝缘层所在平面的异侧；使用绝缘层掩膜和光刻胶制作绝缘保护层。本发明专利技术还公开了一种电容式触摸传感器、触摸屏和显示装置。由于绝缘层和绝缘保护层使用同一个掩膜制作，从而减少了掩膜的使用数量，进而降低了触摸屏的制作成本。另外，由于将透明导电层图案的感应电极图案层和驱动电极图案层分别制作在绝缘层的异侧，从而使得驱动电极到感应电极的电场线更加发散，增加了灵敏触控度。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及触控
，尤其涉及一种电容式触摸传感器及其制造エ艺，以及包括该电容式触摸传感器的触摸屏和显示装置。
技术介绍
电容式Touch Panel (触摸屏)以其良好的性能及用户体验，已经逐渐发展成为主流的触摸屏。电容式Touch Sensor (触摸传感器)是电容式触摸屏的关键器件。现有的电容式触摸传感器的结构通常包括透明绝缘衬底，制作在透明绝缘衬底之上的第一层为金属层，第二层为绝缘层，第三层为ITO (纳米铟锡金属氧化物)图案层，第四层为绝缘保护层。图I所示为ー种三角形ITO图案层示意图，多个白色三角形构成的图案为ITO图案层的感应电极图案(或驱动电极图案)，多个斜线填充的三角形构成的图案为ITO图案层的驱动电 极图案(或感应电极图案)。其中，ITO图案通过与金属层接触实现导通。为了保证ITO图案的导通，需要保证在ITO图案与金属层的导通连接处没有被绝缘层覆盖。在制作电容式触摸传感器的过程中，需要4个Mask (掩膜)。其中，金属层使用一个Mask，绝缘层使用ー个Mask, ITO图案层使用ー个Mask,绝缘保护层使用ー个Mask。由于Mask的设计成本较高，因此，现有的电容式触摸屏的制作エ艺存在制作成本较高的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种电容式触摸传感器及其制作方法，以及包括该电容式触摸传感器的触摸屏及显示装置，以解决现有的电容式触摸传感器制作成本较高的问题。本专利技术的目的是通过以下技术方案实现的一种电容式触摸传感器的制作方法，包括使用透明导电层图案掩膜和光刻胶经过构图エ艺形成驱动电极图案层；使用绝缘层掩膜和光刻胶经过构图エ艺形成绝缘层；使用所述透明导电层图案掩膜和与所述驱动电极图案层胶性相反的光刻胶经过构图エ艺形成感应电极图案层；所述驱动电极图案层和所述感应电极图案层位于所述绝缘层所在平面的异侧；使用所述绝缘层掩膜和与所述绝缘层胶性相同的光刻胶制作绝缘保护层；该方法还包括在透明绝缘衬底上，使用金属层掩膜和光刻胶制作金属层，所述金属层包括显示区域的桥接线；所述驱动电极图案层形成于所述金属层上；或者，在所述驱动电极图案层上，使用金属层掩膜和光刻胶制作金属层；所述绝缘层制作于所述金属层上；或者，在所述绝缘层上，使用金属层掩膜和光刻胶制作金属层；所述感应电极图案层形成于所述金属层上。一种电容式触摸传感器的制作方法，包括使用透明导电层图案掩膜和光刻胶经过构图エ艺形成感应电极图案层；使用绝缘层掩膜和光刻胶制作绝缘层；使用所述透明导电层图案掩膜和与所述感应电极图案层胶性相反的光刻胶经过构图エ艺形成驱动电极图案层；所述感应电极图案层和所述驱动电极图案层位于所述绝缘层所在平面的异侧；使用所述绝缘层掩膜和与所述绝缘层胶性相同的光刻胶制作绝缘保护层；该方法还包括 在透明绝缘衬底上，使用金属层掩膜和光刻胶制作金属层，所述金属层包括显示区域的桥接线；所述感应电极图案层形成于所述金属层上；或者，在所述感应电极图案层上，使用金属层掩膜和光刻胶制作金属层；所述绝缘层制作于所述金属层之上；或者，在所述绝缘层上，使用金属层掩膜和光刻胶制作金属层；所述驱动电极图案层形成在所述金属层之上。—种电容式触摸传感器,包括透明绝缘衬底，使用金属层掩膜和光刻胶制作的金属层，所述金属层包括显示区域的桥接线，使用透明导电层图案掩膜和光刻胶经过构图エ艺形成的驱动电极图案层，使用绝缘层掩膜和光刻胶制作的绝缘层，使用所述透明导电层图案掩膜和与所述驱动电极图案层胶性相反的光刻胶制作的感应电极图案层，使用所述绝缘层掩膜和与所述绝缘层胶性相同的光刻胶制作的绝缘保护层；所述透明绝缘衬底制作于最底层；所述驱动电极图案层和所述感应电极图案层形成于所述绝缘层所在平面的异侧；所述金属层制作于所述透明绝缘衬底之上，或制作于所述驱动电极图案层之上，或制作于所述绝缘层之上；所述绝缘保护层制作于最上层。所述电容式触摸传感器的结构具体为制作于最底层的透明绝缘衬底；所述透明绝缘衬底之上的第一层为所述金属层，第二层为所述驱动电极图案层，第三层为所述绝缘层，第四层为所述感应电极图案层，第五层为所述绝缘保护层。所述电容式触摸传感器的结构具体为制作于最底层的透明绝缘衬底；所述透明绝缘衬底之上的第一层为所述驱动电极图案层，第二层为所述金属层，第三层为所述绝缘层，第四层为所述感应电极图案层，第五层为所述绝缘保护层。所述电容式触摸传感器的结构具体为制作于最底层的透明绝缘衬底；所述透明绝缘衬底之上的第一层为所述驱动电极图案层，第二层为所述绝缘层，第三层为所述金属层，第四层为所述感应电极图案层，第五层为所述绝缘保护层。所述电容式触摸传感器的结构具体为制作于最底层的透明绝缘衬底；所述透明绝缘衬底之上的第一层为所述金属层，第二层为所述感应电极图案层，第三层为所述绝缘层，第四层为所述驱动电极图案层，第五层为所述绝缘保护层。所述电容式触摸传感器的结构具体为制作于最底层的透明绝缘衬底；所述透明绝缘衬底之上的第一层为所述感应电极图案层，第二层为所述金 属层，第三层为所述绝缘层，第四层为所述驱动电极图案层，第五层为所述绝缘保护层。所述电容式触摸传感器的结构具体为制作于最底层的透明绝缘衬底；所述透明绝缘衬底之上的第一层为所述感应电极图案层，第二层为所述绝缘层，第三层为所述金属层，第四层为所述驱动电极图案层，第五层为所述绝缘保护层。 ー种触摸屏，包括上述任一所述的电容式触摸传感器。一种显示装置，包括上述任一所述的电容式触摸传感器。本专利技术提供的电容式触摸传感器及其制作方法、包括该电容式触摸感应器的触摸屏和显示装置，由于使用同一个掩膜制作绝缘层和绝缘保护层，从而減少了掩膜的使用数量，进而降低了电容式触摸屏的制作成本。附图说明图I为现有的一种ITO图案层不意图；图2为本专利技术一个实施例提供的方法流程图；图3为本专利技术另ー个实施例提供的方法流程图；图4为本专利技术又一个实施例提供的方法流程图；图5为本专利技术实施例提供的第一个电容式触摸传感器结构示意图；图6为本专利技术实施例提供的第二个电容式触摸传感器结构示意图；图7为本专利技术实施例提供的第三个电容式触摸传感器结构示意图；图8为本专利技术实施例提供的第四个电容式触摸传感器结构示意图；图9为本专利技术实施例提供的第五个电容式触摸传感器结构示意图；图10为本专利技术实施例提供的第六个电容式触摸传感器结构示意图；图11为本专利技术实施例提供的第七个电容式触摸传感器结构示意图；图12为本专利技术实施例提供的电容式触摸传感器局部俯视示意图。具体实施例方式为了降低电容式触摸传感器的制作成本，本专利技术实施例提供了一种电容式触摸传感器的制作方法，该方法如图2所示，具体包括如下操作S201、使用透明导电层图案掩膜和光刻胶经过构图エ艺形成驱动电极图案层。S202、使用绝缘层掩膜和光刻胶制作绝缘层。S203、使用上述的透明导电层图案掩膜和与上述驱动电极图案层胶性相反的光刻胶经过构图エ艺形成感应电极图案层，其中，驱动电极图案和感应电极图案组成完整的透明导电层图案。上述的驱动电极图案层和上述的感应电极图案层位于上述的绝缘层所在平面的异侧。所谓异侧是指，当电容式触摸传感器水平放置吋，驱动电极图案层位于绝缘层之上，而感应电极图案层位于绝缘层之下；或者，驱动电极图案层位于绝缘层之下，而感应电极图案层位于绝缘层之上本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种电容式触摸传感器的制作方法，其特征在于，包括：使用透明导电层图案掩膜和光刻胶经过构图工艺形成驱动电极图案层；使用绝缘层掩膜和光刻胶经过构图工艺形成绝缘层；使用所述透明导电层图案掩膜和与所述驱动电极图案层胶性相反的光刻胶经过构图工艺形成感应电极图案层；所述驱动电极图案层和所述感应电极图案层位于所述绝缘层所在平面的异侧；使用所述绝缘层掩膜和与所述绝缘层胶性相同的光刻胶制作绝缘保护层；该方法还包括：在透明绝缘衬底上，使用金属层掩膜和光刻胶制作金属层，所述金属层包括显示区域的桥接线；所述驱动电极图案层形成于所述金属层上；或者，在所述驱动电极图案层上，使用金属层掩膜和光刻胶制作金属层；所述绝缘层制作于所述金属层上；或者，在所述绝缘层上，使用金属层掩膜和光刻胶制作金属层；所述感应电极图案层形成于所述金属层上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘英明，王海生，杨盛际，
申请(专利权)人：北京京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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